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J-GLOBAL ID:202002228182899312   整理番号:20A0030112

減圧における窒素中のハイブリッドマイクロ波-DC放電【JST・京大機械翻訳】

Hybrid Microwave-DC Discharge in Nitrogen at Reduced Pressures
著者 (5件):
資料名:
巻: 57  号:ページ: 621-627  発行年: 2019年 
JST資料番号: B0210B  ISSN: 0018-151X  CODEN: HITEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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圧力1~15Torrにおける窒素中のハイブリッド不均一マイクロ波DC放電を,空間分解能を有する方法発光分光法によって研究した。放電は,アンテナから2.5cmの距離に置かれたマイクロ波給電アンテナと接地円盤電極の間で点火される。アンテナは接地電極に対して正にバイアスされた。337nmでの窒素バンドの強度と391nmでのイオンバンドの発光の比を用いて,マイクロ波場強度を決定した。窒素放出の第二の正のシステムは,近いアンテナ領域において他に勝る。最初の負の窒素イオン系の発光は,平坦な電極の近くで最も高い強度を持っている。窒素分子の振動分布とアンテナと接地電極間の直流と位置への依存性を決定した。Copyright 2019 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
分類
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気体放電  ,  プラズマ診断  ,  プラズマ応用  ,  プラズマ生成・加熱 
タイトルに関連する用語 (5件):
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