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J-GLOBAL ID：202002228450914108   整理番号：20A0518799

クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

著者 (7件)： 熊谷祐希 (熊本大 大学院) ,  阿部成海 (熊本大 大学院) ,  尾花宏樹 (熊本大 大学院) ,  小笠原稜 (熊本大 工) ,  久保田弘 (熊本大 大学院) ,  橋新剛 (熊本大 大学院) ,  吉岡昌雄 (熊本大 工)
資料名： 電気・情報関係学会九州支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (Record of Joint Conference of Electrical, Electronics and Information Engineers in Kyushu (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.08-2P-02  発行年： 2019年09月19日 
JST資料番号： L2200B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.背景.半導体の微細化に伴って,半導体製造に利用されているクリーンルーム内の洗浄度はますます重要になっている.そのため,半導体メーカーはパーティクルの発生や気流によって運ばれる二次的な汚染を防ぎ,歩留まりを100%に近づける努力を行ってい...【本文一部表示】

シソーラス用語： 製造 ,  クリーンルーム ,  計算機シミュレーション ,  シミュレーション ,  流動解析 ,  *室温 ,  *最適制御 ,  *省エネルギー
準シソーラス用語： 半導体製造 ,  気流シミュレーション ,  動的シミュレーション ,  気流解析

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  空気浄化  (PC02060X)

タイトルに関連する用語 (3件)： クリーンルーム ,  動的シミュレーション ,  温度制御