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J-GLOBAL ID：202002228454763836   整理番号：20A0710769

光音響分光法に基づくパリレン-Cダイヤフラムに基づく光ファイバガスセンサ【JST・京大機械翻訳】

Parylene-C diaphragm-based fiber-optic gas sensor based on photoacoustic spectroscopy

著者 (6件)： Gong Zhenfeng (Dalian Univ. of Technology (China)) ,  Gao Tianli (Dalian Univ. of Technology (China)) ,  Chen Yewei (Dalian Univ. of Technology (China)) ,  Jiao Yexiang (Dalian Univ. of Technology (China)) ,  Chen Ke (Dalian Univ. of Technology (China)) ,  Yu Qingxu (Dalian Univ. of Technology (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11438  ページ： 1143803-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ漏洩ガス検出のためのパリレン-Cダイヤフラムに基づく低周波光音響(PA)センサを示した。センサヘッドの全体構造は円筒状黄銅シェル,パリレン-Cダイヤフラム,およびFabry-Perot(F-P)空洞と見なされるPA空洞を含む。PA空洞の体積はわずか74μLである。分散フィードバック(DFB)レーザを音響励起源として用いた。PA圧力信号を,光ファイバ白色光干渉(WLI)法を用いてパリレン-Cダイヤフラムの偏向を測定することによって得た。PAセンサヘッドをアセチレン(C_2H_2)検出に用いた。ロックインの積分時間が1sのとき,検出限界は36の部品当たり(ppb)を達成した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガスセンサ ,  *音響 ,  LF【周波数】 ,  レーザ ,  円筒 ,  *ダイヤフラム ,  光干渉 ,  検出限界 ,  励起 ,  *光音響分光法 ,  センサ ,  黄銅 ,  *光ファイバ
準シソーラス用語： ロックイン ,  *パリレンC , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光音響分光法 ,  パリレン-C ,  ダイヤフラム ,  光ファイバ ,  ガスセンサ