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J-GLOBAL ID：202002229714932436   整理番号：20A1072756

熱電アクチュエータで同調したばね形インダクタ【JST・京大機械翻訳】

Spring-Shaped Inductor Tuned With a Microelectromechanical Electrothermal Actuator

著者 (3件)： Khan Fahimullah (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal, Saudi Arabia) ,  Hussein Hussein (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal, Saudi Arabia) ,  Younis Mohammad I. (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal, Saudi Arabia)
資料名： IEEE Magnetics Letters  (IEEE Magnetics Letters)
巻： 11  ページ： ROMBUNNO.8101805.1-5  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2299A  ISSN： 1949-307X  CODEN： IMLEA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン-オン-インシュレータ(SOI)マルチユーザ微小電気機械システムプロセスを用いて作製したスプリング形可変同調インダクタを示した。インダクタは簡単な平面設計を持ち,SOIウエハにモノリシック集積されている。インダクタは同じシリコン構造層上の熱アクチュエータを用いて調整した。したがって,製造の複雑さとコストは大いに最小化される。この装置はコンパクトで,寸法は0.90mmで0.55mmである。費用対効果の良い設計と小さな表面積に加えて,この装置は良好な同調範囲とQ値を有していた。実験結果はインダクタが2,3,および5GHzでそれぞれ20%,17%,および15%に調整できることを示した。0と11.5Vの空気中で,Q因子は2GHzで7.27と4.64,5GHzで7.21と5.92であった。直列共振周波数は>20GHzである。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 表面積 ,  *ケイ素 ,  Q値 ,  アクチュエータ ,  直列共振 ,  MEMS
準シソーラス用語： マルチユーザ ,  費用対効果 ,  同調範囲 ,  可変同調 ,  モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 金属結晶の磁性  (BM06040T)

タイトルに関連する用語 (4件)： アクチュエータ ,  同調 ,  ばね ,  インダクタ