機能性材料の気相3D印刷【JST・京大機械翻訳】

de la Huerta Cesar Arturo Masse; Nguyen Viet H.; Sekkat Abderrahime; Crivello Chiara; Toldra-Reig Fidel; Veiga Pedro Brandao; Quessada Serge; Jimenez Carmen; Munoz-Rojas David

文献

J-GLOBAL ID：202002230075388939 整理番号：20A2802830

機能性材料の気相3D印刷【JST・京大機械翻訳】

Gas-Phase 3D Printing of Functional Materials

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資料名：
巻： 5 号： 12 ページ： e2000657 発行年： 2020年
JST資料番号： W2485A ISSN： 2365-709X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

空間原子層堆積(SALD)は,大気圧でさえ,従来の原子層堆積(ALD)より100倍速い最近のアプローチである。これまでの研究では,大量生産へのスケールアップのための高レート,大面積堆積に焦点を当てた。逆に,本研究は,SALDが,近接SALDヘッドの適切な設計と小型化によって,機能性材料の面積選択堆積のための理想的なプラットフォームを実際に示すことを示す。特に,3D印刷により提供されるポテンシャルを用いて,低コストカスタマイズ近接ヘッドを作製し,異なる堆積領域,自由形状パターン,および複雑な多材料構造を得るために,容易に設計および修正できる。最後に,円形同心ガスチャネルを持つ小型化ヘッドを設計することにより,Z中のナノメータ分解能で機能性材料の3D印刷を行うことができる。これは新しい気相3D印刷アプローチを構成する。プロセスはALD反応に基づくので,機能性材料の共形と連続薄膜を低温で印刷し,開放空気中で高い堆積速度で印刷できる。この手法は,空間およびトポロジー制御を有する機能性材料およびデバイスを印刷する新しい多目的方法であり,従って,SALDおよびALDのポテンシャルを一般的に拡張し,機能性材料の領域選択堆積の分野で新しい道を開いた。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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薄膜成長技術・装置 , 酸化物薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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