文献

J-GLOBAL ID：202002230224095481   整理番号：20A1021900

赤外スペクトルからの干渉に基づく効果の除去-干渉縞再検討【JST・京大機械翻訳】

Removing interference-based effects from infrared spectra - interference fringes re-revisited

著者 (4件)： Mayerhoefer Thomas G. (Leibniz Institute of Photonic Technology (IPHT), Albert-Einstein-Str. 9, 07745 Jena, Germany. [e-mail]) ,  Pahlow Susanne ,  Huebner Uwe ,  Popp Juergen
資料名： Analyst  (Analyst)
巻： 145  号： 9  ページ： 3385-3394  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0392A  ISSN： 0003-2654  CODEN： ANALAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板と層の間の実質的な屈折率不整合は,干渉縞として知られている波状ベースラインに導く。これらの干渉縞は層内の多重反射に起因する。薄い面と平面の平行層に対して,これらの多重反射は,層と波数内の位置に強く依存する波動干渉と電場強度をもたらす。特に,平均電場強度は反射率が減少するスペクトル領域で増加した。したがって,電場強度変化に対する単一理由として吸収を保持するためのBeer-Lambert則に対する最も重要な前提条件はもはや有効ではなく,吸収は電場強度に比例するので,Beer-Lambert則の結果からかなりの偏差がある。その結果,干渉縞除去は,スペクトルにおけるBeer-Lambert則からの偏差を補正することと同義である。この寄与の範囲内で,波動光学に基づく適切な形式を導入した。これにより,干渉に基づく効果の,特に高速で簡単な補正が可能になった。シリコン基板上のポリメタクリル酸メチル層の透過率スペクトルを補正するために著者らのアプローチを適用した。干渉効果は成功裏に除去され,計算されたスペクトルと良く一致する正確なベースラインが得られた。その音響理論的基礎により,干渉縞除去のための他の方法の性能を試験するベンチマークとしてこの形式を用いることができる。Copyright 2020 Royal Society of Chemistry All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *干渉 ,  屈折率 ,  *赤外スペクトル ,  波動 ,  反射率 ,  音響 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *干渉縞 ,  *スペクトル ,  透過率 ,  多重反射 ,  波数 ,  ベンチマーク ,  電界強度
準シソーラス用語： シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 有機化合物の物理分析  (CC03034A) ,  生体物質一般  (EB02010G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 赤外スペクトル ,  干渉 ,  干渉縞