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J-GLOBAL ID:202002231093362332   整理番号:20A1270052

LTCC応用のためのCaO-B_2O_3-SiO_2ガラス/ムライト複合材料に基づく低誘電率膜の作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of low dielectric constant film based on CaO-B2O3-SiO2 glass/mullite composites for LTCC application
著者 (8件):
資料名:
巻: 31  号: 11  ページ: 8884-8892  発行年: 2020年 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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低誘電率を有するCaO-B_2O_3-SiO_2(CBS)ガラス/ムライト複合材料を,テープキャスティングプロセスによって製造した。複合材料に対するCBSガラス含有量とムライト粉末の粒径の影響を調べた。結果は,ムライト粉末(D_50)の最適ガラス含有量と粒径が,それぞれ40wt%と3.5μmであることを示した。相組成の解析から,CBSガラスは高温でムライトと反応し,灰長石の新しい相を形成することを知ることができた。さらに,焼結温度,保持時間およびムライト含有量の増加もこの反応を促進することができた。最後に,この複合材料の最良の焼結プロセスは830°Cで120分間焼結し,その組成は40wt%ガラスであることを見出した。40wt%ガラスを有する調製CBS/ムライト(D_50=3.5μm)複合材料は,7MHzにおいて2.93g/cm3,ε_r=6.20およびtanδ=11×10-4の密度で最良の性能を示した。Copyright Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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セラミック・磁器の性質  ,  固体デバイス材料 

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