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J-GLOBAL ID：202002231123527463   整理番号：20A0736905

楕円偏光分光測定技術とその薄膜材料研究への応用【JST・京大機械翻訳】

Spectroscopic ellipsometry and its applications in the study of thin film materials

著者 (5件)： Zhu Xudan (復旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海,200433) ,  Zhang Rongjun (復旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海,200433) ,  Zheng Yuxiang (復旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海,200433) ,  Wang Songyou (復旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海,200433) ,  Chen Liangyao (復旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海,200433)
資料名： Zhongguo Guangxue  (Zhongguo Guangxue)
巻： 12  号： 6  ページ： 1195-1234  発行年： 2019年 
JST資料番号： C3067A  ISSN： 2095-1531  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 楕円偏光スペクトル測定技術は、線偏光が材料の表面反射後の光の相対振幅と位相変化量を計算することで、エリプソメトリーパラメータを計算し、さらに、エリプソメトリーパラメータのフィッティングにより、サンプルの光学的性質を獲得できる。非接触、高感度、非破壊などのメリットがあるため、物理、化学、材料科学とマイクロエレクトロニクスなどに広く応用され、不可欠な光学測定手段である。本論文では、まずこの技術の発展過程を振り返り、次に、従来のエリプソメータの基本原理を述べ、測定原理の違いにより、エリプソメータを消光式と光度式に分けることができる。続いて、本文では、いくつかの常用エリプソメータの基本構造、測定原理及び関連応用を簡単に紹介し、また、それらの長所と短所を比較し、復旦大学が開発した二重フーリエ変換赤外分光システムについて重点的に示した。次に,測定,モデリング,およびフィッティングの3つの側面を,楕円偏位パラメータに従って処理し,そして,その過程を,詳細に解析し,そして,種々の光学分散モデルを,詳細に解析し,そして,種々の分散モデルの応用を,応用例を通して,提示した。最後に,将来の楕円体技術の発展方向を展望した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 消光 ,  FTIR分光法 ,  偏光解析法 ,  光度 ,  エリプソメータ ,  マイクロエレクトロニクス ,  *偏光 ,  光分散 ,  光学的測定 ,  高感度 ,  光学的性質 ,  *楕円偏光 ,  材料科学 ,  楕円体
準シソーラス用語： 分散モデル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 楕円偏光 ,  分光測定 ,  薄膜材料 ,  研究 ,  応用