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J-GLOBAL ID：202002231626960579   整理番号：20A2350501

懸垂マイクロストリップ共振器を持つ共鳴トンネルダイオードを用いたデルタシグマ変調マイクロホンセンサ【JST・京大機械翻訳】

Delta-sigma modulation microphone sensors employing a resonant tunneling diode with a suspended microstrip resonator

著者 (3件)： Maezawa Koichi (Faculty of Engineering, University of Toyama, Toyama, Japan) ,  Ito Tatsuo (Faculty of Engineering, University of Toyama, Toyama, Japan) ,  Mori Masayuki (Faculty of Engineering, University of Toyama, Toyama, Japan)
資料名： Sensor Review  (Sensor Review)
巻： 40  号： 5  ページ： 535-542  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0968A  ISSN： 0260-2288  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 目的:本論文では,デルタシグマアナログからディジタル変換器における従来のデルタシグマ変調器を置き換える周波数デルタシグマ変調(FDSM)技術に基づく新しいマイクロホンセンサを提案し,実証することを目的とした。FDSM技術の鍵は,入力アナログ信号を1ビットパルス密度変調ディジタル信号に変換するための電圧制御発振器(VCO)を用いることである。振動周波数が外部物理パラメータに依存する発振器によってVCOを置換すれば,高性能センサを実現できる。設計/方法論/アプローチ:マイクロホンセンサを,背面接地面を薄い金属ダイヤフラムで置換する,懸濁マイクロストリップディスク共振器を使用するFDSMに基づいて提案した。共鳴トンネルダイオード(RTD)発振器も用いて,これらのセンサの性能は振動周波数に著しく依存する。本提案の基本動作を実証するために,プロトタイプデバイスをInGaAs/AlAs RTDで作製した。結果:デルタシグマ変調の重要な性質である満足な雑音成形特性を,プロトタイプデバイスに対して30年間にわたって実証した。話者から1kHzの音を適用するとき,音検出ピークも明確に観察された。高性能超音波マイクロホンセンサは,センサが高周波発振器設計で薄いInP基板を用いて製造されるならば実現できる。オリジナル性/価値:本研究では,広い帯域幅を有する高いダイナミックレンジを持つ将来の超音波センサとして有望な新しいマイクロホンセンサを提案し,実験的に実証した。Copyright 2020 Emerald Publishing Limited All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  懸濁液 ,  超音波 ,  発振器 ,  *マイクロホン ,  音響 ,  振動数 ,  リン化インジウム ,  ダイヤフラム ,  帯域幅 ,  ダイナミックレンジ ,  VCO【発振器】 ,  *共鳴トンネルダイオード ,  *ΔΣ変調
準シソーラス用語： ΔΣ変調器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： デルタシグマ変調器 ,  共鳴トンネルダイオード ,  懸垂マイクロストリップ共振器 ,  超音波センサ

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 懸垂 ,  マイクロストリップ共振器 ,  共鳴トンネルダイオード ,  デルタシグマ変調 ,  マイクロホン