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J-GLOBAL ID：202002231743595065   整理番号：20A2230280

P-15:3オメガ法を用いたインジウム-ガリウム-亜鉛-オキシド薄膜の熱伝導率測定【JST・京大機械翻訳】

P-15: Thermal Conductivity Measurement of Indium-Gallium-Zinc-Oxide Thin Films Utilizing Three-Omega Method

著者 (4件)： Khan Rauf (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Fukuoka, Japan) ,  Chang-Hoon Shim (Global Innovation Center, Kyushu University, Fukuoka, Japan) ,  Hattori Reiji (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Fukuoka, Japan) ,  Hattori Reiji (Global Innovation Center, Kyushu University, Fukuoka, Japan)
資料名： Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display)  (Digest of Technical Papers. SID International Symposium (Society for Information Display))
巻： 51  号： 1  ページ： 1365-1368  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0907A  ISSN： 0097-966X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウム-ガリウム-亜鉛-オキシド(IGZO)薄膜の交差面熱伝導率の温度依存性を,微分3ω法を用いて測定した。IGZO薄膜を,室温でDCスパッタリングによりAl_2O_3基板上に堆積した。熱伝導率は,いくつかの異なる酸素分圧,0%,10%および65%で,それぞれ1.6,1.8および2.6W/(m・K)であった。さらに,IGZO薄膜の熱伝導率は,結晶材料の典型的な特性に従って,測定周囲温度の増加と共に減少する。これらの結果は,結晶性がIGZO膜内に存在し,この結晶相がIGZO膜への熱伝導を支配しているということを証明した。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *熱伝導率 ,  *熱伝導 ,  *薄膜 ,  *酸化物 ,  温度依存性 ,  微分 ,  結晶度 ,  ナノ結晶
準シソーラス用語： 酸素分圧 ,  酸化インジウム・ガリウム・亜鉛 ,  *熱伝導率測定 ,  周囲温度 ,  DCスパッタリング ,  3ω法 ,  結晶相 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 3オメガ法 ,  熱伝導率 ,  ナノ結晶 ,  InGaZnO ,  薄膜

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 3オメガ法 ,  インジウム ,  ガリウム ,  亜鉛 ,  オキシド ,  薄膜 ,  熱伝導率測定