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J-GLOBAL ID：202002232673237020   整理番号：20A1802780

ポリ(N-イソプロピルアクリルアミドブラシグラフト化ポリ(ジメチルシロキサン)マイクロモールドを用いた自立セラミック微小成分のソフトリソグラフィー製造【JST・京大機械翻訳】

Soft lithographic fabrication of free-standing ceramic microcomponents using poly(N-isopropylacrylamide) brushes grafted poly(dimethylsiloxane) micromolds

著者 (8件)： Li Min ( State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, People’s Republic of China) ,  Li Min ( Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Su Bo ( State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, People’s Republic of China) ,  Zhou Bo ( State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, People’s Republic of China) ,  Zhou Bo ( Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China) ,  Wang Honggang ( State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, People’s Republic of China) ,  Meng Junhu ( State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, People’s Republic of China) ,  Meng Junhu ( Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 30  号： 8  ページ： 085009 (9pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)に適用した無傷で正確なセラミックマイクロ部品を作製するために,熱応答ポリ(N-イソプロピルアクリルアミド(PNIPAAm)ブラシを,可視光誘起重合によりポリ(ジメチルシロキサン)(PDMS)マイクロモルド上にグラフトした。セラミックマイクロ部品のソフトリソグラフィー製造におけるPDMS-Br@PNIPAAmマイクロモルドの応用を,アルミナグリーンミクロ成分の生成によって実証した。PDMS-Br@PNIPAAmマイクロモルドは,15°Cで129.7±0.3°の水接触角を有する疎水性であった。成形プロセスの間に,マイクロモルドは,4°Cで81.3±0.4°の水接触角で親水性に変化し,PNIPAAm鎖との分子間水素結合を形成することによって,水性アルミナスラリーの流動性を改善することができた。脱型プロセスの間に,ミクロモルドは,乾燥後に分子間水素結合が壊れるので疎水性である。その結果,73.7±0.8μm幅のマイクロチャネルを有する自立アルミナグリーンマイクロ部品を,マイクロトランスファー成形によって製作し,3.6の最大アスペクト比を達成した。マイクロチャネルの横方向および縦方向収縮は,それぞれ9.8±0.6%および11.5±0.4%であった。PDMS-Br@PNIPAAmマイクロモルドは13回以上再利用できた。湿度感受性PDMS-Br@PNIPAAmマイクロモルドは,MEMSのための高いアスペクト比を有するセラミックマイクロ部品を製造するために効果的に使用できると考えられる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *セラミック ,  湿度 ,  *ブラシ ,  重合 ,  親水性 ,  疎水性 ,  可視光 ,  脱型 ,  移送成形 ,  熱応答 ,  MEMS ,  マイクロチャネル ,  分子間水素結合
準シソーラス用語： *ソフトリソグラフィー ,  水接触角 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： N-イソプロピルアクリルアミド ,  ブラシ ,  グラフト ,  モールド ,  自立 ,  セラミック ,  微小 ,  ソフトリソグラフィー