文献

J-GLOBAL ID：202002233085108951   整理番号：20A0477992

AFMをシミュレートする多次元トポグラフィーセンシング【JST・京大機械翻訳】

Multidimensional topography sensing simulating an AFM

著者 (3件)： Rubin Eyal (Dynamics Laboratory, Mechanical Engineering Technion, Israel Institute of Technology, Technion, Israel) ,  Davis Solomon (Dynamics Laboratory, Mechanical Engineering Technion, Israel Institute of Technology, Technion, Israel) ,  Bucher Izhak (Dynamics Laboratory, Mechanical Engineering Technion, Israel Institute of Technology, Technion, Israel)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 303  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)は,検査と品質管理のために半導体産業で使用されている。周波数変調AFM(FM-AFM)は,チップと試料の間のvan der Waals(VdW)相互作用力により生成される周波数シフトを測定することにより,表面トポグラフィーを抽出する。測定速度を改善し,工業用マイクロチップ構築に現れる複雑な形状を扱うために,いくつかの強化を導入した。ほとんどのFM-AFMデバイスは単一振動モードで動作するが,本論文では,2直交振動モードの周波数変調を同時に用いた多次元センシングのための方法を提案した。この概念を,磁気チップと強磁性試料を用いて,VdW力を磁気力により置き換えた大規模実験システムで試験した。VdW力を正確にエミュレートするために,ベース周波数と周波数シフトの間の設計比を,ナノスケールAFMを模倣するように保った。共振に対する高速ロッキングのための自己共鳴(AR)制御方式と曲線あてはめ周波数推定アルゴリズムを利用することにより,いくつかのモードで経験される周波数の微小変化を同時に検知することが可能である。実験結果は,4(μm)分解能で実験的に再構成された傾斜面,急峻な壁および溝のような3D関連地形を用いた。典型的なAFM寸法へのダウンスケーリングは,理論的にサブナノメータ分解能をもたらす。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  周波数変調 ,  *高次元 ,  制御方式 ,  振動モード ,  共振 ,  エミュレーション ,  直交性 ,  基本振動数 ,  磁気 ,  品質管理 ,  曲線あてはめ ,  周波数シフト ,  三次元 ,  強磁性

著者キーワード (4件)： 3Dトポロジー測定 ,  高速周波数シフトセンシング ,  自己共鳴 ,  マルチモードセンシング

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (2件)： AFM ,  多次元