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J-GLOBAL ID：202002233243211324   整理番号：20A2223594

三ふっ化窒素のプラズマ関連高速電子衝撃研究【JST・京大機械翻訳】

Plasma-relevant fast electron impact study of nitrogen trifluoride

著者 (12件)： Xu Yuan-Chen (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Xu Yuan-Chen (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Du Xiao-Jiao (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Du Xiao-Jiao (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Li Tian-Jun (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Li Tian-Jun (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Wang Li-Han (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Wang Li-Han (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Ma Zi-Ru (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Ma Zi-Ru (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Zhu Lin-Fan (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at Microscale and Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China) ,  Zhu Lin-Fan (Synergetic Innovation Center of Quantum Information and Quantum Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, Anhui 230026, People’s Republic of China)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 29  号： 8  ページ： 085005 (9pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素トリフルオリド(NF_3)は,非常に大規模な集積回路の製造における効率的なフッ素源としてプラズマ科学の分野で重要な分子である。NF_3の動的パラメータ,特にその全解離断面積は,プラズマモデルの精度を改善するために極めて重要である。しかし,非常に少ない解離断面積データが実験中に存在した。本研究では,NF_3の解離励起状態の一般化振動子強度を1500eVの入射電子エネルギーと70meVのエネルギー分解能で決定した。ゼロ二乗運動量移動の限界に一般化振動子強度を外挿することにより,対応する光振動子強度を得た。NF_3の解離励起状態の全解離断面積を,BE-スケーリング法の助けを借りて,閾値から2500eVまで系統的に得て,理論結果に対する独立した交差チェックを与えた。クロスチェックは,一重項励起状態に対する現在のBEスケール解離断面積がベンチマークデータとして役立つことを示唆する。詳細な解析に基づいて,三重項励起の一重項励起とシフトした理論的解離断面積に対する現在のBEスケール解離断面積を,プラズマモデルにおける実用化のために推奨した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運動量移動 ,  *プラズマ ,  集積回路 ,  *衝撃 ,  振動子強度 ,  断面積 ,  励起 ,  励起状態 ,  外挿法 ,  フッ素 ,  一重項 ,  *フッ化窒素 ,  ベンチマーク ,  エネルギー分解能
準シソーラス用語： 電子エネルギー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 三ふっ化窒素 ,  プラズマ ,  電子衝撃 ,  研究