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J-GLOBAL ID：202002233856413036   整理番号：20A2569597

縦励起CO_2レーザによるホウケイ酸ガラス穴あけ【JST・京大機械翻訳】

Borosilicate glass drilling by longitudinally excited CO₂ laser

著者 (2件)： Baba Yoshihito (Univ. of Yamanashi (Japan)) ,  Uno Kazuyuki (Univ. of Yamanashi (Japan))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11546  ページ： 115460O-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザパルス波形を制御できる縦励起CO_2レーザを開発し,簡単で小型で低コストのデバイスを開発した。長さ146μmのホウケイ酸ガラスドリル加工を,縦励起CO_2レーザの応用を考慮するためにフルエンスに依存した。レーザ処理システムは,1Hzの繰返し速度,CaF_2減衰器,ビーム膨張機,12.7mmの焦点距離を有するZnSe集束レンズ,およびガラスサンプルを有するCO_2レーザから成った。焦点スポットは試料表面にあった。試料を冷却し,デブリを除去する補助ガスは使用しなかった。CO_2レーザは300nsのパルス幅,パルス幅100μsのパルステール,およびスパイクパルス部分のエネルギー比1:25のパルステール部分のエネルギー比をもつスパイクパルスを有した。短いレーザパルスは,補助ガスなしで亀裂のない穿孔穴を生成した。一方,熱影響ゾーン(HAZ)は穿孔穴の周りに生成した。本研究では,各条件における最小穿孔孔直径は,125μmの照射直径の約50%であった。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ガラス ,  亀裂 ,  *励起 ,  減衰器 ,  *ホウケイ酸ガラス ,  焦点距離 ,  レーザパルス ,  パルス ,  *穴あけ ,  パルス幅 ,  セレン化亜鉛 ,  ドリル加工 ,  穿孔 ,  フルエンス
準シソーラス用語： 繰返し速度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 縦 ,  励起 ,  レーザ ,  ホウケイ酸ガラス ,  穴あけ