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J-GLOBAL ID：202002233882032443   整理番号：20A2018178

偏光選択性中赤外メタ表面のための準3D Auナノ構造の大面積アレイ【JST・京大機械翻訳】

Large-Area Arrays of Quasi-3D Au Nanostructures for Polarization-Selective Mid-Infrared Metasurfaces

著者 (6件)： Nagal Vivek (Department of Chemical and Biomolecular Engineering, Johns Hopkins University) ,  Li Tengfei (Department of Electrical Engineering, Johns Hopkins University) ,  Khurgin Jacob B. (Department of Electrical Engineering, Johns Hopkins University) ,  Gracias David H. (Department of Chemical and Biomolecular Engineering, Johns Hopkins University) ,  Gracias David H. (Department of Materials Science and Engineering, Johns Hopkins University) ,  Gracias David H. (Department of Chemistry, Johns Hopkins University)
資料名： ACS Applied Nano Materials  (ACS Applied Nano Materials)
巻： 3  号： 7  ページ： 7029-7039  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5033A  ISSN： 2574-0970  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メタ表面は,得られた透過率,反射率,または特定の波長での吸収を制御することで光の伝搬を操作するために使用される二次元パターンである。メタ表面は,典型的には,単一または多重層に配置された金属または誘電体成分で構成され,入射光の波長より著しく小さいサイズを有する。これらの表面の設計においてかなりの進歩がなされてきたが,それらの適用性を制限する大きな領域にわたる高スループット並列製造による大きな挑戦がある。ここでは,光とナノインプリントリソグラフィー(NIL)の組み合わせを用いて作製した中赤外メタ表面の設計とキャラクタリゼーションを示した。400~600nmの幅,30~50nmの厚さ,および5~6μmの長さを有する非対称の互いに素な形状および対称の一致のような形状を含む,種々の3Dナノスケール設計で,ミリメートルスケールを超えるアレイを作製した。Fourier変換赤外(FTIR)顕微鏡を用いて反射におけるこれらのメタ表面の中間IR光応答を特性化し,有限要素法(FEM)計算を用いてスペクトル応答をシミュレーションし,シミュレーションと実験の間の良好な一致を得た。また,メタ表面は入射光の偏光に基づく特性と著しく異なるプラズモン共鳴モードを示した。この大面積作製方法論は,形状および光学特性において大きな可同調性を有するスケーラブルなフォトニックおよびプラズモンデバイスのための3Dマイクロおよびナノ素子を有する大面積メタ表面の費用対効果の高い製造を可能にする。Copyright 2020 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *赤外線 ,  対称性 ,  反射率 ,  プラズモン ,  *偏光 ,  誘電体 ,  波長 ,  非対称性 ,  プラズマ共鳴 ,  二次元 ,  *三次元 ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： ナノインプリントリソグラフィー ,  ナノスケール ,  ナノデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： メタマテリアル ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  FTIR ,  表面プラズモン共鳴 ,  プラズモニクス

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

タイトルに関連する用語 (8件)： 偏光 ,  選択性 ,  メタ表面 ,  3D ,  Au ,  ナノ構造 ,  大面積 ,  アレイ