文献

J-GLOBAL ID：202002233969430590   整理番号：20A0941805

炭酸ガスレーザによる石英ガラス基板へのマイクロ流路加工に関する基礎的研究

Fundamental Study on Microfluidic Fabrication on Quartz Glass Substrate with CO₂ Laser

著者 (4件)： 高松優未 (崇城大) ,  北田良二 (崇城大) ,  天谷諭 (理研 生命機能科学研究セ) ,  田中陽 (理研 生命機能科学研究セ)
資料名： 日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会(CD-ROM)  (日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 13th  ページ： ROMBUNNO.B09  発行年： 2019年 
JST資料番号： L3643B  ISSN： 2424-3094  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ流路デバイスの製作では,樹脂材料やガラスに対して半導体製造技術などの微細加工技術によりマイクロ流路が形成される.流路形成において,溝形状の制御は重要であるが,半導体製造技術では複雑なプロセスを要する.そこで,石英ガラス基板に対して,炭酸ガスレーザを用いてマイクロ流路を形成することを試み,レーザ加工条件を変化させて溝幅と溝深さを制御する基礎的検討を行った.また,送液実験を実施して溶液の流れを確認した.(著者抄録)

シソーラス用語： *基板 ,  *電気装置部品 ,  炭酸ガスレーザ ,  *マイクロチャネル ,  *微細加工
準シソーラス用語： *ガラス基板 ,  マイクロ流路

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 炭酸ガスレーザ ,  石英ガラス ,  マイクロ流路 ,  基礎的研究