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J-GLOBAL ID：202002234293084305   整理番号：20A2052083

フロートポリシング法における浮上原理の解明

Elucidation of levitation principle in float polishing method

著者 (5件)： NAGAI Kotaro (Kyoto Univ.) ,  BEAUCAMP Anthony (Kyoto Univ.) ,  MATSUBARA Atsushi (Kyoto Univ.) ,  NAMBA Yoshiharu (Chubu Univ.) ,  SUZUKI Hirofumi (Chubu Univ.)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B1103  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・フロートポリシング法の構造を説明し,その研磨ギャップ距離の計測と計算流体力学(CFD)解析にて,その浮上原理を検討。
・フロートポリシング法の実験装置を製作し,研磨ギャップ距離を測定し,工作物中央で4μmが得られ,この値は文献結果と一致。
・この実験結果に基づいたCFDシミュレーションモデルを構築し,CFDシミュレーションにて圧力分布,浮上力を算出し,ラップの回転効果が大きいことが判明。
・スラリーの粘性を測定し,スラリーが非ニュートン流体特性であり,工作物の浮上安定性に影響と説明。

シソーラス用語： *研磨 ,  *浮上り ,  流体力学 ,  計算機シミュレーション ,  計算流体力学 ,  圧力分布 ,  粘性 ,  非Newton流体 ,  安定性 ,  *間隙 ,  磁性流体 ,  シミュレーションモデル
準シソーラス用語： CFDシミュレーション ,  *フロートポリシング ,  浮上力

分類 (5件)： 研削  (QC03000R) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  流体動力学一般  (BC02010G) ,  非Newton流  (BC02020R) ,  磁性流体  (BM06090W)

引用文献 (5件)：

• Y. Namba, et al., “Ultra-Precision Float Polishing of Calcium Fluoride Single Crystals for Deep Ultra Violet Applications”, Annals of the CIRP, 53, 1 (2004)pp. 459-462.
• 難波義治, “フロート・ポリシング”, 光学, 13, 6(1984)pp.454-462.
• S. F. Soares, et al., “Float-polishing process and analysis of float-polished quartz”, Applied Optics, 33, 1 (1994)pp. 89-95.
• 村木正芳, ”図解 トライボロジー 摩擦の科学と潤滑技術”, 日刊工業新聞社, 2007.
• Y.Namba and H.Tsuwa, “Mechanisms and Some Applications of Ultra-Fine Frnishing”, Annals of the CIRP, 27, 1 (1978)pp. 511- 516.

タイトルに関連する用語 (3件)： フロートポリシング ,  浮上 ,  原理