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J-GLOBAL ID：202002234513633900   整理番号：20A2532335

多結晶シリコン膜の光学放射の屈折率について【JST・京大機械翻訳】

On refractive index of optical radiation of polycrystalline silicon films

著者 (4件)： Gavrushko V V (Yaroslav-the-Wise Novgorod State University, 41, ul. B. St. Petersburgskaya, Veliky Novgorod, Russian Federation) ,  Ionov A S (Open Joint Stock Company “OKB-Planeta” 173004, Veliky Novgorod, Russia) ,  Lastkin V A (Open Joint Stock Company “OKB-Planeta” 173004, Veliky Novgorod, Russia) ,  Telina I S (Yaroslav-the-Wise Novgorod State University, 41, ul. B. St. Petersburgskaya, Veliky Novgorod, Russian Federation)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1658  号： 1  ページ： 012016 (7pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ0.1~0.8μmのサファイア上の多結晶シリコン層の透過スペクトルを調べた。屈折率は0.5~2.7μmの範囲で決定した。波長の減少による屈折率の増加を確立した。0.1から0.8μmの膜厚の増加はλ=1.5μmで3.2から2.8への屈折率の減少をもたらした。単結晶と比較して,多結晶膜の屈折率は低かった。得られたデータは,複雑な組成の光学特性を計算するためのモデルを構築するために使用できる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *屈折率 ,  光学的性質 ,  単結晶 ,  波長 ,  *多結晶 ,  膜厚 ,  サファイア
準シソーラス用語： 透過スペクトル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多結晶シリコン膜 ,  光学 ,  放射 ,  屈折率