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J-GLOBAL ID:202002235523200009   整理番号:20A1283732

線形ドーピングPN型ダウンフィールド層を持つ新しいスロットゲートLDMOS【JST・京大機械翻訳】

Novel trench gate LDMOS with linear doped PN top layer
著者 (6件):
資料名:
巻: 39  号:ページ: 22-27  発行年: 2019年 
JST資料番号: C3601A  ISSN: 1673-5439  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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本論文では,高い破壊電圧と低いターンオン抵抗を得るために,線形ドーピングPN型ダウンフィールド層を有するスロットゲートLDMOSデバイス(LDPNTG-LDMOS)を提案した。線形ドーピングPN型ドロップフィールド層は,デバイスの表面電界を最適化し,電界ピークを減少し,その結果,デバイスの破壊電圧を向上できる。同時に、線形ドーピングPN型降下場層のN型ドリフト領域の補助空乏作用は、デバイスのドリフト領域のドーピング濃度を向上でき、それによって導通抵抗を低下させることができる。シミュレーションの結果は,通常のスロットゲートLDMOSと比較して,線形ドーピングPN型ドロップアウト層を有するスロットゲートLDMOSデバイスの破壊電圧が28%増加し,オン抵抗が50%低下することを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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