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J-GLOBAL ID：202002235543448394   整理番号：20A0916224

エネルギー収穫応用のための磁歪箔上のプラズマ増強原子層堆積により成長させたAlN膜から作製した2-2複合材料の強い磁気電気効果【JST・京大機械翻訳】

Strong Magnetoelectric Effects of 2-2 Composites Made of AlN Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition on Magnetostrictive Foils for Energy Harvesting Applications

著者 (6件)： Nguyen Tai (Physics and Materials Science Research Unit, University of Luxembourg,Campus Limpertsberg, 162 Avenue de la Faieencerie,Luxembourg,L-1511) ,  Adjeroud Noureddine (Luxembourg Institute of Science and Technology,Materials Research and Technology Department,41, rue du Brill, Belvaux,Luxembourg,L-4422) ,  Glinsek Sebastjan (Luxembourg Institute of Science and Technology,Materials Research and Technology Department,41, rue du Brill, Belvaux,Luxembourg,L-4422) ,  Fleming Yves (Luxembourg Institute of Science and Technology,Materials Research and Technology Department,41, rue du Brill, Belvaux,Luxembourg,L-4422) ,  Guillot Jerome (Luxembourg Institute of Science and Technology,Materials Research and Technology Department,41, rue du Brill, Belvaux,Luxembourg,L-4422) ,  Polesel-Maris Jerome (Luxembourg Institute of Science and Technology,Materials Research and Technology Department,41, rue du Brill, Belvaux,Luxembourg,L-4422)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MEMS  ページ： 578-581  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,磁歪ニッケル,鉄およびコバルト箔上にプラズマ増強原子層蒸着(PEALD)により成長させた高(002)配向窒化アルミニウム(AlN)膜から成る磁気電気(ME)スタックの新しいプロセスを示した。低温でのPEALDによる高品質圧電AlN膜の効率的な方法を報告した。有効横方向圧電係数e_31,fは高(002)配向AlN膜に対して0.37C/m2と評価された。さらに,PEALDにより得られた共形被覆により,2.8V cm-1の強いME結合が得られた。Ni上の(002)配向AlN膜の2-2複合材料上での共鳴からOe-1を得た。このME装置は,マイクロシステムのエネルギー収穫のための新しい方法を開くことができた。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *磁気電気効果 ,  *磁歪 ,  *プラズマ ,  低温 ,  複合材料 ,  コバルト ,  鉄 ,  ニッケル ,  被覆 ,  圧電気 ,  *磁気 ,  *窒化アルミニウム
準シソーラス用語： 圧電定数 ,  高品質 ,  *エネルギーハーベスティング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (12件)： エネルギー収穫 ,  応用 ,  磁歪 ,  箔 ,  プラズマ ,  増強 ,  原子層堆積 ,  成長 ,  AlN ,  作製 ,  複合材料 ,  磁気電気効果