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J-GLOBAL ID：202002235566077386   整理番号：20A2466785

モスアイ構造を用いたSi型赤外検出器の高感度化

Improvement of sensitivity of Si based infrared detector using moth eye structure

著者 (2件)： 榎隆宏 (電通大) ,  菅哲朗 (電通大)
資料名： 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会予稿集(CD-ROM))
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.1P2-N11  発行年： 2020年05月27日 
JST資料番号： L0318B  ISSN： 2424-3124  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,近赤外領域で機能する,反射を防止し,透過率を増幅するモスアイ構造を用いることでSi型赤外検出器の高感度化を行った。現在,Si型赤外検出器に光を照射する際空気とSi界面の反射が大きく感度不足が課題であった。この課題を解決するために,まずピラー型モスアイ構造をSi基板上をエッチングして凹凸を製作する。この製作したデバイスの性能の評価としてモスアイ構造の反射率とショットキー障壁による電流の検出による応答性を評価した。結果的にショットキー障壁による電気的検出値の増大を実現した。(著者抄録)

シソーラス用語： 素子構造 ,  放射線検出器 ,  *赤外検出器 ,  高感度 ,  近赤外線 ,  構造 ,  透過率 ,  ウエハ【IC】 ,  Schottky障壁 ,  応答特性 ,  反射率
準シソーラス用語： Si基板 ,  シリコン検出器 ,  *モスアイ構造 ,  近赤外領域 ,  *反射防止構造

分類 (5件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： モスアイ構造 ,  Si ,  赤外検出器 ,  高感度化