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J-GLOBAL ID：202002235899923528   整理番号：20A0922310

単一SbドープZnOマイクロワイヤ非平衡ブリッジ型ガスセンサの作製と性能【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and properties of non-balance electric bridge gas sensor based on a single Sb doped ZnO microwire

著者 (8件)： Feng Qiuju (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Shi Bo (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Li Yunzheng (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Wang Deyu (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Gao Chong (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Dong Zengjie (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Jie Jinzhu (遼寧師范大学物理与電子技術学院,大連,116029) ,  Liang Hongwei (大連理工大学微電子学院,大連,116024)
資料名： Wuli Xuebao  (Wuli Xuebao)
巻： 69  号： 3  ページ： 273-279  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0628A  ISSN： 1000-3290  CODEN： WLHPA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 化学気相蒸着(CVD)を用いて,超長および大サイズのSbドープZnOマイクロワイヤを首尾よく調製した。非平衡ブリッジの原理に基づき,単一SbドープZnOマイクロワイヤを,非平衡ブリッジのブリッジアームとして用いて,室温で作動するガスセンサプロトタイプデバイスを製作した。結果は以下を示した。20,50,100及び200ppm(1ppm=10-6)のアセトン及びエタノールガスに対する応答-回復曲線は室温において矩形形状を示し,空気及び被検ガス中で安定電流値を示し,検出ガス濃度の増大とともに増加した。デバイスの応答値も徐々に増加した。また、デバイスはアセトンガスに対して良好な選択性があり、アセトンガス濃度が200ppmの時、このセンサーの応答時間は0.2秒、回復時間は0.3秒、応答度は243%に達することが分かった。普通のコンダクタンスセンサと比較して,この非平衡ブリッジ構造センサを用いて,応答度を明らかに改善でき,応答と回復時間をより速くした。さらに,ガス検出機構も研究した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電流 ,  *アンチモン ,  *非平衡状態 ,  *酸化亜鉛 ,  *ドーピング ,  アーム ,  ガスセンサ ,  蒸着 ,  コンダクタンス ,  プロトタイプ ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： 回復時間 ,  *マイクロワイヤ ,  ガス濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  物理学一般  (BA01010T) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  数理物理学  (BA03000W)

物質索引 (2件)： エタノール ,  アセトン

タイトルに関連する用語 (8件)： Sb ,  ドープ ,  ZnO ,  マイクロワイヤ ,  非平衡 ,  ブリッジ ,  ガスセンサ ,  作製