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J-GLOBAL ID：202002236315847795   整理番号：20A1119638

超音波等を適用したプラントの保守検査 1)環境振動MEMS発電素子とIoT無線センサ応用

著者 (5件)： 年吉洋 (東大) ,  遠山幸也 (東大) ,  本間浩章 (東大) ,  三屋裕幸 (鷲宮製作所) ,  橋口原 (静岡大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 32  号： 3  ページ： 33-37  発行年： 2020年06月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・化学プラントの随所にあるモーターやポンプの振動をエネルギー源として,そこからミリワット級の電力を回収するMWMS型の振動発電素子とその理論の概略を解説。
・この振動発電素子を最も簡便に製作する手法として,貼り合わせシリコン基板(SOI)の両面を高アスペクト比のドライエッチングでマイクロ加工する技術を開発。
・試作した振動発電素子を用いて無線センサを構成したところ,約1分に1回の割合で温度・湿度などのデータをクラウドに送信できることを確認。

シソーラス用語： 振動 ,  *発電 ,  *MEMS ,  センサ ,  無線伝送 ,  電気機械 ,  エネルギー回収 ,  インピーダンス整合 ,  環境振動 ,  *MEMS発電 ,  *振動発電 ,  エネルギーハーベスタ
準シソーラス用語： *IoT無線センサ

分類 (3件)： その他の発電  (NB03140M) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  無線通信一般  (ND08010L)

タイトルに関連する用語 (10件)： 超音波 ,  プラント ,  保守 ,  検査 ,  環境振動 ,  MEMS ,  発電素子 ,  IoT ,  無線センサ ,  応用