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J-GLOBAL ID：202002236379327441   整理番号：20A1068959

Kelvinプローブ力顕微鏡における不均一プローブ表面誘起効果【JST・京大機械翻訳】

Inhomogeneous probe surface induced effect in Kelvin probe force microscopy

著者 (4件)： Xu Jie (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, China) ,  Bai Gang (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, China) ,  Li Jinze (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, China) ,  Li Wei (College of Electronic and Optical Engineering and College of Microelectronics, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210023, China)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 127  号： 18  ページ： 184302-184302-11  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Kelvinプローブ力顕微鏡(KPFM)におけるプローブは,人工的修飾または予想外の摩耗または汚染により不均一なチップ表面を有する可能性がある。本研究では,導電性試料によるKPFMにおける非等電位チップ表面誘起効果を,それぞれ解析的多重キャパシタンスモデルと数値境界要素モデルによりシミュレートした。静電容量モデルは,KPFMシステムが不均一チップと不均一サンプル誘起信号の間の結合なしで重ね合わせの原理を満たすことを示した。さらに,より正確な境界要素モデルは,不均一チップ表面がKPFM分解能を変化させないが,チップ-サンプル距離,チップ振動振幅,および変調モードに依存する信号シフトを誘発することを示した。シミュレーションにおいて,Euler-Bernoulli梁理論に基づいて,3/8の片持梁較正因子を提案した。シミュレーション結果は銀試料に関する最近のKPFM距離分光実験と良く一致し,シミュレーション法は誘電試料に関する将来の議論にも有望である。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *シミュレーション ,  電位 ,  プローブ ,  銀 ,  片持梁 ,  分解能 ,  ルブリケータ ,  静電容量 ,  振動振幅 ,  導電性
準シソーラス用語： 梁理論 ,  境界要素 ,  重合せの原理 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P) ,  分子間相互作用  (BH07020P) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  静電気学,静磁気学  (BD01010C) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (3件)： Kelvinプローブ力顕微鏡 ,  不均一 ,  プローブ