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J-GLOBAL ID：202002236955779694   整理番号：20A1961214

熱原子層蒸着のランツーラン制御【JST・京大機械翻訳】

Run-to-Run Control of Thermal Atomic Layer Deposition

著者 (4件)： Zhang Yichi (University of California,Department of Chemical and Biomolecular Engineering,Los Angeles,CA,USA,90095-1592) ,  Ding Yangyao (University of California,Department of Chemical and Biomolecular Engineering,Los Angeles,CA,USA,90095-1592) ,  Wu Zhe (University of California,Department of Chemical and Biomolecular Engineering,Los Angeles,CA,USA,90095-1592) ,  Christofides Panagiotis D. (University of California,Department of Electrical Engineering,Los Angeles,CA,USA,90095-1592)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： MED  ページ： 1080-1086  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,バッチ原子層堆積(ALD)プロセスの計算流体力学(CFD)モデルの開発と,関連するランツーラン制御スキームに焦点を当てた。特に,前駆体としてBTBASとオゾンを用いたSiO_2薄膜ALDについて,円筒形炉反応器を解析した。最初に,工業規模炉ALDシステムのための高忠実度2D軸対称マルチスケールCFDモデルを,ANSYS Fluentで開発し,気相発達と表面堆積を特性化し,これは,速度論的モンテカルロ(kMC)アルゴリズムを用いて以前に構築したデータベースに基づいている。マルチスケールCFDモデルの検証後,広範囲の操作条件を調べるために,回帰モデルを開発し,入口供給流量と半サイクル時間の入出力関係を記述した。次に,ランツーラン(r2r)制御方式を定式化し,それは,回帰関係と指数的加重移動平均(EWMA)アルゴリズムを用いて,操作条件を調整するためのポストバッチフィードバック情報を使用した。最後に,マルチスケールCFDモデルとr2r制御装置を統合して,メッセージ通過インタフェイス(MPI)とデータ同期方式を通して閉ループシステムを作り出して,r2r制御装置の性能を評価する。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モンテカルロ法 ,  *アルゴリズム ,  薄膜 ,  データベース ,  オゾン ,  反応器 ,  二次元 ,  前駆体 ,  閉ループ系 ,  回帰モデル ,  軸対称性 ,  定式化 ,  計算流体力学
準シソーラス用語： 操作条件 ,  ANSYS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 医用画像処理  (JE04020T) ,  音声処理  (JE05000E) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  符号理論  (ND02030R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (1件)： 原子層蒸着