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J-GLOBAL ID：202002237461977878   整理番号：20A1020855

モデルすず-オキソレジストにおける励起選択性 計算化学的展望【JST・京大機械翻訳】

Excitation selectivity in model tin-oxo resist: a computational chemistry perspective

著者 (5件)： Ma Jonathan H. (Lawrence Berkeley National Lab. (United States)) ,  Wang Han (Lawrence Berkeley National Lab. (United States)) ,  Prendergast David (Lawrence Berkeley National Lab. (United States)) ,  Neureuther Andrew (Lawrence Berkeley National Lab. (United States)) ,  Naulleau Patrick (Lawrence Berkeley National Lab. (United States))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11323  ページ： 113231F-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この予備的な計算化学研究において,モデルスズオキソ分子レジストにおける励起選択性を報告する。衝突イオン化により,6配位スズ原子(電荷平衡配位子近くに位置する)に結合した有機側鎖が優先的に不安定化された。逆に,電子付加により,5配位スズ原子(中心ベルト上に位置する)に結合した側鎖が不安定化した。結合エネルギーから推測すると,イオン化誘起過程は電子付着誘起過程よりも小さい空間範囲を持つ可能性がある。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン化 ,  結合エネルギー ,  電子付着 ,  *励起 ,  衝突イオン化 ,  側鎖 ,  *計算化学
準シソーラス用語： 不安定化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (7件)： モデル ,  すず ,  レジスト ,  励起 ,  選択性 ,  計算化学 ,  展望