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J-GLOBAL ID：202002237968246396   整理番号：20A0520794

窒素/水素混合ガスを用いたプラズマ照射によるFe-Co箔の窒化

Nitriding of Fe-Co Foil Irradiated with Nitrogen/Hydrogen-Mixture Plasma

著者 (8件)： 矢澤翔大 (日本大 生産工) ,  中野裕悟 (日本大 生産工) ,  萩原涼 (日本大 生産工) ,  片桐正人 (日本大 生産工) ,  江頭雅之 (日本大 生産工) ,  工藤祐輔 (日本大 生産工) ,  黒岩孝 (日本大 生産工) ,  新妻清純 (日本大 生産工)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 44  号： 1  ページ： 2-7  発行年： 2020年01月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,Fe-Co箔を窒化するプラズマ照射法を試み,調製した試料の調製プロセス,結晶構造と磁気的性質について検討した。Fe49.27%,Co48.8%,V1.93%を含み厚さ100μmのFe-Co箔を用いた。本研究では,まず,以前の研究で行われた,従来条件である70%N₂+30%H₂混合ガス雰囲気中でのプラズマ窒化処理を試みたが,X線回折(XRD)と磁気特性(VSM)の測定結果から,Fe-Co合金の調製は確認されなかった。この結果に基づいて,従来の方法と異なるArガス雰囲気中でプラズマ照射後,70%N₂+30%H₂混合ガス雰囲気中でFe-Co箔を窒素プラズマで照射することを提案した。結果を以下のようにまとめた。提案した窒化処理法であるArプラズマ照射後の,70%N₂+30%H₂ガスによるプラズマ照射により窒化処理は成功し,Fe-Coのピークに加えてγオーステナイトの形成を観察した。γオーステナイトのXRD結果から,回折ピークはプラズマ処理電流とプラズマ照射時間の増加とともに増大することを確認した。VSMによる磁気特性の結果から,プラズマ処理電流とプラズマ照射時間が増加すると磁気飽和値が減少し,保持力が増加することを確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *鉄含有合金 ,  *コバルト含有合金 ,  箔 ,  *窒化 ,  軟磁性材料 ,  磁束密度 ,  窒化物 ,  鉄化合物 ,  プラズマ曝露 ,  混合気体 ,  気体 ,  水素 ,  イオン窒化 ,  アルゴン ,  オーステナイト ,  X線回折 ,  磁力計 ,  力 ,  飽和磁化 ,  *磁性材料 ,  開発
準シソーラス用語： VSM【磁力計】 ,  材料開発 ,  水素ガス ,  窒化鉄 ,  窒素ガス ,  保持力

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  窒素とその化合物  (YB02050S)

引用文献 (21件)：

• 島田 寛:高周波軟磁性薄膜材料.電気学会誌,11(2003) 719-722
• 小幡元基,加藤将樹,廣田 健:Mgフェライト / パーマロイ・磁性ナノコンポジットの作製.粉体および粉末治金,10 (2010) 672-677
• 佐久間昭正:窒化物磁性体の電子構造と磁気構造.11(1992) 999-1007
• T.K.Kim and M.Takahashi: Appl.phys. Left., 20(1972) 492
• Kazuyuki Sunaga, Masakiyo Tsunoda and Migaku Takahashi: Effect of Axial Ratio and Atomic Volume on magnetism of α' and γ'-Fe-N. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, 10(2006)

タイトルに関連する用語 (8件)： 窒素 ,  水素 ,  混合ガス ,  プラズマ照射 ,  Fe ,  CO ,  箔 ,  窒化