文献

J-GLOBAL ID：202002238304864624   整理番号：20A0014457

厚膜ナノ多孔性アルミナの容量性湿度センサの増強のための全有効表面積原理【JST・京大機械翻訳】

Total effective surface area principle for enhancement of capacitive humidity sensor of thick-film nanoporous alumina

著者 (4件)： Chung C.K. (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 701, Taiwan) ,  Khor O.K. (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 701, Taiwan) ,  Kuo E.H. (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 701, Taiwan) ,  Ku C.A. (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan 701, Taiwan)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 260  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全有効表面積は環境センシング性能の重要な因子である。高密度のナノ細孔を有する多孔質陽極酸化アルミニウム(AAO)膜は,水分子を吸収するための表面領域をもたらす。しかし,シュウ酸中で形成されたAAO湿度センサは,特に低い相対湿度(RH)下で,静電容量の低い応答を示す。ここでは,シュウ酸における小陽極酸化電位を用いたAAO容量性湿度センサの性能を大きく向上させるための全有効表面積原理を実証した。細孔依存性表面積に対して,AAO細孔壁は水分子の吸光度と容量センサの応答に直接影響する。陽極酸化電位の減少は,細孔径と細孔間距離の両方を比例的に減少させるが,表面積を逆に増加させる。したがって,小さい20Vで形成されたAAOセンサは,40および50Vでのそれらと比較して,低から高RH下での2~3倍の応答を増強するために,壁に吸収された水分子の量を大きく増加させることができる。シュウ酸中で20Vで合成したAAOセンサに対して,良好な安定性と信頼できる応答/回復時間も得られた。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多孔性 ,  *アルミナ ,  細孔径 ,  相対湿度 ,  セラミック ,  細孔 ,  センサ ,  静電容量 ,  吸光度 ,  水分子 ,  湿度センサ ,  アノード ,  *厚膜 ,  表面積 ,  脂肪族カルボン酸 ,  ジカルボン酸

著者キーワード (6件)： 多孔質材料 ,  セラミックス ,  センサ ,  厚膜 ,  アルミナ ,  表面

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： シュウ酸

タイトルに関連する用語 (8件)： 厚膜 ,  ナノ多孔性 ,  アルミナ ,  容量性 ,  湿度センサ ,  増強 ,  表面積 ,  原理