文献

J-GLOBAL ID：202002239123680209   整理番号：20A1198670

スピンコーティング中のストライエーションにおける時空厚み変動と過渡Marangoni数【JST・京大機械翻訳】

Spatio-temporal thickness variation and transient Marangoni number in striations during spin coating

著者 (5件)： Shiratori Suguru (Department of Mechanical Systems Engineering, Tokyo City University, 1-28-1 Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158-8557, Japan) ,  Kato Daiki (Department of Mechanical Systems Engineering, Tokyo City University, 1-28-1 Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158-8557, Japan) ,  Sugasawa Kyosuke (Department of Mechanical Systems Engineering, Tokyo City University, 1-28-1 Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158-8557, Japan) ,  Nagano Hideaki (Department of Mechanical Systems Engineering, Tokyo City University, 1-28-1 Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158-8557, Japan) ,  Shimano Kenjiro (Department of Mechanical Systems Engineering, Tokyo City University, 1-28-1 Tamazutsumi, Setagaya-ku, Tokyo 158-8557, Japan)
資料名： International Journal of Heat and Mass Transfer  (International Journal of Heat and Mass Transfer)
巻： 154  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0390A  ISSN： 0017-9310  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エポキシ樹脂とキシレン溶媒の混合物について,スピンコーティング中に生じるストライエーションの形成過程を実験的に調べた。厚さ変化の光学的測定により,ストライエーションの発生がスピンコーティングの非常に早い段階で始まることを確認した。時空の厚さ変化は,波長スペクトルへの劇的な変化を含むかなり複雑な挙動を示した。初期段階でゆっくり成長する短波長成分が中期段階で突然消滅することは注目に値する。実験的に観測された過渡的な厚さの変化は,溶質のMarangoni-Benard不安定性の微分形式によりストライエーションが生成されるという仮説の下で,流れのレジームの変化に対応することを示した。過渡Marangoni数は,遠心力と溶媒蒸発により厚さが減少する単純な数学モデルに基づく数値シミュレーションにより予測され,厚さ方向の濃度分布の時間発展と共に考慮される。Marangoni数Maは,ある程度減少するだけでなく,増加すると予測される。実験で観測された短波長成分の突然の消失は,流れレジームのある分岐に対するサブ臨界値までのMaの低下と関連している可能性がある。回転速度が小さいとき,分岐に対するMarangoni数は1000<Ma<1800の範囲にあると予測される。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 遠心力 ,  臨界定数 ,  エポキシ樹脂 ,  数学モデル ,  波長 ,  濃度分布 ,  スペクトル ,  短波 ,  回転数 ,  溶質 ,  *Marangoni数 ,  時間発展 ,  *スピンコーティング
準シソーラス用語： キシレン ,  数値シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 液膜流 ,  solutal Marangoni効果 ,  Marangoni-Benard不安定性 ,  干渉法

分類 (3件)： 対流・放射熱伝達  (PA02030K) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U) ,  不均質流  (BC02060J)

タイトルに関連する用語 (5件)： スピンコーティング ,  ストライエーション ,  時空 ,  厚み ,  Marangoni数