文献

J-GLOBAL ID：202002239780083219   整理番号：20A0783780

楕円鏡により形成された軟X線ナノビーム【JST・京大機械翻訳】

Soft x-ray nanobeam formed by an ellipsoidal mirror

著者 (10件)： Takeo Yoko (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Suzuki Akihiro (Research Institute for Electronic Science, Hokkaido University, N21W10, Kita-ku, Sapporo, Hokkaido 001-0021, Japan) ,  Motoyama Hiroto (Department of Chemistry, School of Science, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-0033, Japan) ,  Takei Yoshinori (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan) ,  Kume Takehiro (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida, Nagano 399-2431, Japan) ,  Matsuzawa Yusuke (Technology Center, Natsume Optical Corporation, 1200-29 Kawaji, Iida, Nagano 399-2431, Japan) ,  Senba Yasunori (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Kishimoto Hikaru (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Ohashi Haruhiko (Japan Synchrotron Radiation Research Institute (JASRI), 1-1-1 Koto, Sayo-cho, Sayo-gun, Hyogo 679-5198, Japan) ,  Mimura Hidekazu (Department of Precision Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 116  号： 12  ページ： 121102-121102-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 楕円鏡は軟X線集束用の有望な光学素子である。約10mmの広い開口を持つ楕円形ミラーを製作するために,マスタ製作と複製からなる製造プロセスを開発した。本研究では,SPring-8の軟X線ビームラインBL25SUにおける軟X線を用いて,楕円鏡の集束性能を評価した。300,400,および500eVの光子エネルギーで焦点サイズを測定した。また,楕円鏡の定量的図形誤差を,心理学を用いて検索した集束ビームの波動場を解析することによって評価した。異なる光子エネルギーで測定した図形誤差分布は,1nmの二乗平均二乗レベルで互いに一致した。開発した集束システムは様々なタイプの顕微鏡に用いることができ,広範囲のX線エネルギーの利用を可能にする。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 波動場 ,  生産工程 ,  集束 ,  複製 ,  *軟X線 ,  ビームライン ,  光学素子 ,  開口
準シソーラス用語： 光子エネルギー ,  SPring-8 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 楕円 ,  軟X線 ,  ナノビーム