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J-GLOBAL ID：202002239821896763   整理番号：20A0686538

分光エリプソメトリーシステム光源と分光計偏光相関係数測定【JST・京大機械翻訳】

Measurement of polarization correlation coefficients of light source and spectrometer in spectroscopic ellipsometry

著者 (5件)： Fan Zhentao (中国科学院自適応光学重点実験室,四川成都 610209;中国科学院光電技術研究所,四川成都 610209;中国科学院大学,北京 100049) ,  Tang Yuanyuan (中国科学院自適応光学重点実験室,四川成都 610209;中国科学院光電技術研究所,四川成都 610209) ,  Wei Kai (中国科学院自適応光学重点実験室,四川成都 610209;中国科学院光電技術研究所,四川成都 610209) ,  Chen Ying (中国人民解放軍61046部隊,北京,100000) ,  Zhang Yudong (中国科学院自適応光学重点実験室,四川成都 610209;中国科学院光電技術研究所,四川成都 610209)
資料名： Guangdian Gongcheng  (Guangdian Gongcheng)
巻： 46  号： 12  ページ： 1-9  発行年： 2019年 
JST資料番号： C2092A  ISSN： 1003-501X  CODEN： GUGOEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 分光エリプソメトリー技術は,材料科学,マイクロエレクトロニクス,物理化学,および生物医学の分野で広く使われてきた。スペクトルエリプソメータ測定システムにおいて,偏光度および分光偏光子の偏光感度は,偏光子および偏光子の偏光感度が,スペクトル偏位システムの測定精度に影響する。この問題に対して、本論文では、スペクトルエリプソメトリー測定システムの偏光相関係数の修正モデルを提案し、光源サブシステムと分光計サブシステムの偏光相関係数を同時に測定する方法を提案した。既存の実験室内の広帯域光源システムと広帯域分光計を用いて、この測定方法の実行可能性を検証した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *偏光 ,  計測システム ,  偏光子 ,  材料科学 ,  測定精度 ,  マイクロエレクトロニクス ,  スペクトル ,  *分光計 ,  *相関係数 ,  物理化学 ,  *光源 ,  広帯域
準シソーラス用語： 偏光度 ,  生物医学 ,  *分光偏光解析法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 分光エリプソメトリー ,  分光計 ,  偏光 ,  相関係数