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J-GLOBAL ID：202002240653479824   整理番号：20A0210479

調整可能な誘電率をもつ絶縁性Ag-ポリイミドハイブリッド膜【JST・京大機械翻訳】

Insulating Ag-Polyimide Hybrid Films with a Tunable Dielectric Constant

著者 (3件)： Wiesinger Markus Klaus Diether (Walter Schottky Institute and Physics Department, Technical University Munich, Am Coulombwall 4a, Garching, 85748, Germany) ,  Welzel Till (Walter Schottky Institute and Physics Department, Technical University Munich, Am Coulombwall 4a, Garching, 85748, Germany) ,  Stutzmann Martin (Walter Schottky Institute and Physics Department, Technical University Munich, Am Coulombwall 4a, Garching, 85748, Germany)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 217  号： 1  ページ： e1900488  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,低充填率で調整可能な誘電率を有する非浸透性ハイブリッド絶縁膜の製造について報告した。これらの膜は,コンデンサのような集積回路の受動部品における不動態化スタックまたは誘電体としての形状場分布に有用である。このようなシステムは,市販の材料と簡単なツールで実現でき,処理技術を適用することにより,それらを大幅に改善できることを示した。改善された電気的および誘電的性質は,異なる処理条件によって引き起こされた膜の微細構造の変化に関連している。実験は,膜が室温から150°Cまで十分に安定な特性を有することを示し,それらをデバイスに使用することを可能にした。最後に,このような材料系の更なる改良のための方向を与える膜の絶縁破壊に対するモデルを提案した。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 絶縁破壊 ,  集積回路 ,  不動態化 ,  コンデンサ ,  絶縁膜 ,  *誘電率 ,  複合材料 ,  微細構造 ,  誘電性 ,  誘電体 ,  ナノ粒子
準シソーラス用語： 受動素子 ,  充填率 ,  *ハイブリッド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 複合材料 ,  誘電体 ,  ハイブリッド材料 ,  ナノ粒子

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  量子光学一般  (BD04010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 誘電率 ,  絶縁性 ,  Ag ,  ポリイミド ,  ハイブリッド膜