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J-GLOBAL ID：202002241293119297   整理番号：20A0705030

時分割GISAXS法によるブロックコポリマー薄膜の自己組織化過程の解明

In-situ measurement of self-assembling processes in blockcopolymer thin films with GISAXS

著者 (3件)： 竹中幹人 (Kyoto Univ.) ,  重栖拓也 (Kyoto Univ.) ,  小川紘樹 (Kyoto Univ.)
資料名： 日本化学繊維研究所講演集(CD-ROM)  (Annual Report of Institute for Chemical Fibers, Japan (CD-ROM))
巻： 77  ページ： ROMBUNNO.3.08  発行年： 2020年03月01日 
JST資料番号： F0818B  ISSN： 0368-6280  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *自己集合 ,  *ジブロック共重合体 ,  *小角X線散乱 ,  高分子薄膜 ,  ガラス転移点 ,  層状組織 ,  リソグラフィー ,  ミクロ相分離
準シソーラス用語： *GISAXS

分類 (1件)： 物理的性質一般  (YH02021U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 時分割 ,  GISAXS ,  ブロックコポリマー ,  薄膜 ,  自己組織化 ,  過程