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J-GLOBAL ID：202002242122601283   整理番号：20A2586318

AFM動力学モデルおよびエネルギー散逸機構に関する研究【JST・京大機械翻訳】

STUDY ON A DYNAMICS MODEL OF TAPPING MODE AFM AND ENERGY DISSIPATION MECHANISM

著者 (4件)： Wei Zheng (北京化工大学机電工程学院,北京100029) ,  Zheng Xiaoting (北京化工大学机電工程学院,北京100029) ,  Liu Jing (北京化工大学机電工程学院,北京100029) ,  Wei Ruihua (北京化工大学机電工程学院,北京100029)
資料名： Lixue Xuebao  (Lixue Xuebao)
巻： 52  号： 4  ページ： 1106-1119  発行年： 2020年 
JST資料番号： C2420A  ISSN： 0459-1879  CODEN： LHHPAE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： タッピングモードにおいて,プローブは,連続エネルギー散逸過程であり,そして,間欠接触サンプル表面から離れる。この連続過程のエネルギー散逸メカニズムに関する研究は、各文献に存在し、連続プロセスにおける各段階のエネルギー散逸メカニズムについて、系統的な解釈と実験検証もない。本文では、新たな変位励起下の原子間力顕微鏡プローブ-サンプルシステムの簡単化モデルを提案し、一次元振動子システムの等価減衰の計算方法を提案し、この方法により、サンプル表面から離れた時の空気粘性減衰とサンプルに近い時の空気圧膜減衰を計算した。プローブがサンプルから断続的に接触するサンプル表面までの環境散逸メカニズムの変化を分析し、原子間力顕微鏡システムの理論品質因子とプローブ動作位置の関係曲線を得た。これに基づいて,マイクロ片持梁の走査周波数実験を設計し,実験品質因子とプローブ動作位置の関係曲線を得て,理論モデルの精度を検証した。本論文では、タッピングモードにおけるAFM環境散逸メカニズムについて、理論分析と実験検証を行うことで、タッピングモードにおけるAFM動力学特性及びその減衰作用メカニズムについて、より一層近い認識を期待する。同時に,MEMS/NEMSのエネルギー散逸機構に関する理論的参照と実験方法を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プローブ ,  励起 ,  簡素化 ,  *片持梁 ,  振動子 ,  一次元 ,  原子間力顕微鏡 ,  エネルギー散逸 ,  MEMS
準シソーラス用語： 空気圧 ,  理論モデル ,  品質因子 ,  NEMS ,  *動力学モデル ,  実験検証 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 層流,乱流,境界層  (BC02030C)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  動力学モデル ,  エネルギー散逸 ,  研究