{{ $t("message.ADVERTISEMENT") }}
{{ $t("message.AD_EXPIRE_DATE") }}2024年03月
文献
J-GLOBAL ID:202002242511574844   整理番号:20A0463931

2軸微細格子製作のための小型露光装置の開発

著者 (5件):
資料名:
巻: 54th  ページ: ROMBUNNO.150(J-STAGE)  発行年: 2019年 
JST資料番号: U1727A  ISSN: 2424-2713  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
変位センサの1つであるサーフェスエンコーダでは,スケールとして2軸微細回折格子が使用される.この2軸回折格子を製作するために,これまで直交型2軸ロイドミラー干渉計が設計・製作され使用されてきたが,直交型干渉計ユニットを使用した露光装置は大面積を占有するという問題があった.本研究では,コンパクトな非直交2軸ロイドミラー干渉計の設計・製作を行った.さらに,設計した非直交型干渉計ユニットによる2軸微細回折格子の一括製作の可能性を検証するために露光実験を行い,露光装置の基礎特性を評価した.(著者抄録)
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

準シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。

分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  干渉測定と干渉計 

前のページに戻る