スピン速度とアニーリング温度の圧電ZnO薄膜依存性の環境エネルギーハーベスティング【JST・京大機械翻訳】

Sutjipto Agus Geter Edy; Shian Yit Pei; Shaitir Ali; Jusoh Mohamad Ashry; Legowo Ari

文献

J-GLOBAL ID：202002244538166411 整理番号：20A0711133

スピン速度とアニーリング温度の圧電ZnO薄膜依存性の環境エネルギーハーベスティング【JST・京大機械翻訳】

Ambient Energy Harvesting of Piezoelectric ZnO Thin Film Dependence of Spin Speed and Annealing Temperature

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巻： 981 ページ： 51-58 発行年： 2020年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

本研究は,酸化亜鉛薄膜を用いることによる環境エネルギー収穫を扱う。本論文の目的は,圧電材料としてのZnO膜を,振動が適用され,その最適電圧を決定するときに,電気を生成することができることを証明することである。酸化亜鉛薄膜を作製するためのゾル・ゲルスピンコーティング法について述べた。酢酸亜鉛脱水,絶対エタノールおよびジエタノールアミンを,ゾルゲル前駆体として作用するために,本論文で用いた。ゾルゲルをアルミニウム箔で包まれたガラススライド上に被覆した。薄膜は予熱とアニーリング後に形成された。薄膜をX線回折(XRD),電界放出走査型Electron顕微鏡(FESEM),光ルミネセンス分光法(PL)及び紫外可視分光法(UV-Vis)により特性化し,振動技術を用いて解析した。XRD結果から,膜は(112)回折相に対応する約65°で優先的に回折された。FESEMの結果から,同じアニーリング温度でスピン速度が増加すると,厚さも減少することが観察された。アニーリング温度が同じスピン速度で増加すると,結晶粒サイズと厚さの両方が増加した。PLの結果から,2000rpmのスピン速度と300°Cのアニーリング温度をもつ膜のみが380nmのわずかな波長を持っていた。アニーリング温度はPL波長の強度のみに影響した。UV-Visの結果から,スピン速度が同じアニーリング温度で増加したとき,バンドギャップは減少することが観察された。アニーリング温度が同じスピン速度で増加したとき,バンドギャップは減少した。圧電試験は,ZnO膜が電気を生産できることを証明した。最大電圧(20.7mV)は,2000rpmのスピン速度と300°Cのアニーリング温度をもつZnO膜によって生成された。Copyright 2020 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

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酸化物薄膜

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