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J-GLOBAL ID：202002244772525910   整理番号：20A1020393

フェムト秒レーザ誘起フィラメントへの繊維レーザパルスの選択吸収によるガラスの超高速および精密加工【JST・京大機械翻訳】

Ultrafast and precision processing of glass by selective absorption of fiber-laser pulse into femtosecond-laser-induced filament

著者 (6件)： Ito Yusuke (The Univ. of Tokyo (Japan)) ,  Yoshizaki Reina (The Univ. of Tokyo (Japan)) ,  Shibata Akihiro (AGC Inc. (Japan)) ,  Nagasawa Ikuo (AGC Inc. (Japan)) ,  Nagato Keisuke (The Univ. of Tokyo (Japan)) ,  Sugita Naohiko (The Univ. of Tokyo (Japan))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11267  ページ： 112670W-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザパルスの極端な強度はガラス中の微細加工を可能にする。しかしながら,従来のフェムト秒レーザに基づくガラス処理は,2つの厳しい限界,すなわち,加工中の低い加工速度と損傷の発生を有している。従来の方法を用いて,直径10□m,深さ100μmの穴を形成するために,単一フェムト秒レーザパルスにより除去された体積が小さすぎるので,数百パルスを単一スポットに集束しなければならない。さらに,レーザパルスがターゲット表面に焦点を合わせると,強い応力波が発生し,それにより精度が低下する。単一フェムト秒レーザパルスとガラスに透明な波長を持つファイバレーザパルスを共軸集束することにより,これらの問題を解決した。直径10μm,深さ133μmの穴を40μsで作製し,処理速度が従来のフェムト秒レーザの5000倍以上であることを示した。さらに,発生した損傷は従来の方法と比較してかなり除去され,精密加工が達成された。本研究の結果はフェムト秒レーザ加工の産業応用の拡大を助けるであろう。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 応力波 ,  *ガラス ,  集束 ,  *精密加工 ,  波長 ,  *レーザパルス ,  *パルス ,  選択吸収 ,  フェムト秒 ,  微細加工 ,  ファイバレーザ ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *レーザ誘起 ,  産業応用 ,  フェムト秒レーザパルス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： フェムト秒レーザ ,  誘起 ,  フィラメント ,  繊維 ,  レーザパルス ,  選択吸収 ,  ガラス ,  精密加工