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J-GLOBAL ID：202002245069111787   整理番号：20A1783905

微細加工ベクトル光センサ【JST・京大機械翻訳】

A micromachined vector light sensor

著者 (5件)： Zhuo Dong Hao (School of Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, BC, Canada) ,  Rai Ashish (School of Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, BC, Canada) ,  Vosoogh-Grayli Siamack (School of Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, BC, Canada) ,  Leach Gary W. (Department of Chemistry, Simon Fraser University, Burnaby, BC, Canada) ,  Bahreyni Behraad (School of Mechatronic Systems Engineering, Simon Fraser University, Surrey, BC, Canada)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 311  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 入射光源の強度および方向を決定するために設計した新しい微細加工光センサの設計,製作および性能特性を報告した。デバイス構造はピラミッドベースに集積したいくつかの光センサから成る。光源の方向は,異なる方向に直面している光センサからの信号の比を用いて推定した。この「ベクトル光センサ」は光源からの光の強度および方向の両方を測定することができることを実証した。センサの三次元構造を,よく知られたシリコン微細加工技術に基づいて作成し,可視光検出用のフォトダイオードを用いた。フォトダイオードからの信号を,デバイス性能を実験的に検証するために,簡単なアルゴリズムに基づいて読み,処理した。方向に加えて,光源までの距離を,2つのベクトル光センサからのデータの簡単な三角形分割によって推定することができた。個々のセンサの小サイズと低電力消費は,受動距離と方向推定が要求される応用に適している。さらに,アレイセンサが平面で光場情報を直接的に提供できると想定した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  光源 ,  フォトダイオード ,  *ベクトル ,  ケイ素 ,  素子構造 ,  可視光 ,  角錐 ,  センサ ,  *微細加工 ,  *光センサ ,  到来方向推定
準シソーラス用語： 低電力化 ,  光学場 ,  入射光 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 光学センサ ,  角度検出 ,  位置センシング ,  微細加工 ,  ベクトルセンシング ,  近接センシング

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光導電素子  (NC03083X) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細加工 ,  ベクトル ,  光センサ