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J-GLOBAL ID：202002245268996044   整理番号：20A1249222

FTO層なしでガラス基板上に成長させた花状TiO_2ナノロッドアレイ膜の作製と構造特性【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and structural properties of flower-like TiO₂ nanorod array films grown on glass substrate without FTO layer

著者 (12件)： Musa M.Z. (NANO-ElecTronic Centre (NET), Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Musa M.Z. (Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA Cawangan Pulau Pinang, 13500 Permatang Pauh, Pulau Pinang, Malaysia) ,  Mamat M.H. (NANO-ElecTronic Centre (NET), Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Mamat M.H. (NANO-SciTech Centre (NST), Institute of Science (IOS), Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Vasimalai N. (School of Physical and Chemical Sciences, B.S. Abdur Rahman Crescent Institute of Science & Technology, Vandalur, Chennai 600 048, India) ,  Shameem Banu I.B. (School of Physical and Chemical Sciences, B.S. Abdur Rahman Crescent Institute of Science & Technology, Vandalur, Chennai 600 048, India) ,  Malek M.F. (NANO-SciTech Centre (NST), Institute of Science (IOS), Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Ahmad M.K. (Microelectronic and Nanotechnology-Shamsuddin Research Centre, Faculty of Electrical and Electronic Engineering, Universiti Tun Hussein Onn Malaysia, 86400 Batu Pahat, Johor, Malaysia) ,  Suriani A.B. (Nanotechnology Research Centre, Faculty of Science and Mathematics, Universiti Pendidikan Sultan Idris (UPSI), 35900 Tanjung Malim, Perak, Malaysia) ,  Mohamed A. (Nanotechnology Research Centre, Faculty of Science and Mathematics, Universiti Pendidikan Sultan Idris (UPSI), 35900 Tanjung Malim, Perak, Malaysia) ,  Rusop M. (NANO-ElecTronic Centre (NET), Faculty of Electrical Engineering, Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia) ,  Rusop M. (NANO-SciTech Centre (NST), Institute of Science (IOS), Universiti Teknologi MARA (UiTM), 40450 Shah Alam, Selangor, Malaysia)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 273  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最初に,花状二酸化チタン(TiO_2)ナノロッドアレイ(TFNA)膜を,1~5時間の浸漬の間,フッ素をドープしない酸化スズ(FTO)層なしで,スパッタしたTiO_2シード層被覆ガラス基板上に成長させた。最適浸漬時間は4時間で,厚さ19μmの高密度TFNA構造を生成した。X線回折結果は,TFNAが正方晶ルチル相であることを明らかにした。調製した試料を用いて作製した湿度センサは優れた湿度センサ性能を示し,感度は196に達した。結果は,調製したTFNA膜が湿度センシング応用のための有望な材料であることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  半導体 ,  フッ素 ,  *湿度 ,  ゲル ,  酸化スズ ,  ドーピング ,  ルチル ,  正方晶系 ,  浸漬 ,  湿度センサ
準シソーラス用語： *ガラス基板 ,  シード層 ,  二酸化チタン ,  *ナノロッドアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 半導体 ,  TiO_2花状ナノロッドアレイ ,  ゾル-ゲル調製 ,  構造特性 ,  湿度センサ

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガラス基板 ,  成長 ,  花 ,  ナノロッドアレイ ,  作製 ,  構造特性