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J-GLOBAL ID：202002246125128027   整理番号：20A1027849

高分子電解質膜燃料電池の高性能金属バイポーラ板のためのプラズマ増強原子層堆積により作製した超薄有効窒化チタン保護膜【JST・京大機械翻訳】

Ultrathin effective TiN protective films prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition for high performance metallic bipolar plates of polymer electrolyte membrane fuel cells

著者 (5件)： Lee Woo-Jae (School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, 30 Jangjeon-Dong, Geumjeong-Gu, Busan 609-735, Republic of Korea) ,  Yun Eun-Young (School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, 30 Jangjeon-Dong, Geumjeong-Gu, Busan 609-735, Republic of Korea) ,  Lee Han-Bo-Ram (Department of Materials Science and Engineering, Incheon National University, 119 Academy-ro, Yeonsu-gu, Incheon 22012, Republic of Korea) ,  Hong Suck Won (Department of Cogno-Mechatronics Engineering, Department of Optics and Mechatronics Engineering, Pusan National University, 30 Jangjeon-Dong, Geumjeong-Gu, Busan 609-735, Republic of Korea) ,  Kwon Se-Hun (School of Materials Science and Engineering, Pusan National University, 30 Jangjeon-Dong, Geumjeong-Gu, Busan 609-735, Republic of Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 519  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高い伝導性と耐食性を有するステンレス鋼(SS)ベースのバイポーラプレートは,最近の高分子電解質膜燃料電池の重要な要素の1つである。したがって,超薄(25~67nm)窒化チタン薄膜のプラズマ増強原子層蒸着(PEALD)により,SS316Lベースのバイポーラプレートにおける優れた防食と良好な電気伝導率を達成できる。この目的のために,テトラキス(ジメチルアミノ)チタン(TDMAT)と四塩化チタン(TiCl_4)前駆体を用いてPEALDにより堆積した2種類の窒化チタン保護被膜を評価した。評価はPEMFCの運転条件を模擬した条件下で行った。前駆体タイプにかかわらず,SS316L上へのPEALD-窒化チタンは電気伝導率と耐食性に大きな改善をもたらした。特に,TDMATを用いて調製した窒化チタン薄膜は,前駆体としてTiCl_4を用いて作製したものと比較して,優れた耐食性(<1μA/cm2)を示した。系統的に構造的,組成的,および電気化学的分析により,約5nm厚の超薄非晶質界面層が形成され,TDMATを用いた腐食保護において重要な役割を果たしていることが明らかになった。さらに,TDMATによる窒化チタン薄膜は,127N/cm2の圧密力において,SS316Lの界面接触抵抗を35.868から15.239mΩcm2に大きく低下させた。本研究は,SS-バイポーラ板用のPEALD保護被覆材料の開発のための興味ある機会を提示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 圧密 ,  界面 ,  *プラズマ ,  接触抵抗 ,  電気伝導率 ,  薄膜 ,  ステンレス鋼 ,  耐食性 ,  防食 ,  非晶質 ,  前駆体 ,  *固体高分子形燃料電池
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  *バイポーラ板 ,  SS316L , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： プラズマ増強原子層堆積 ,  窒化チタン薄膜 ,  高分子電解質膜燃料電池 ,  ステンレス鋼バイポーラ板 ,  非晶質界面層

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  燃料電池  (YB04040V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 高分子電解質膜燃料電池 ,  高性能 ,  バイポーラ板 ,  プラズマ ,  増強 ,  原子層堆積 ,  作製 ,  窒化チタン ,  保護膜