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J-GLOBAL ID：202002246349447278   整理番号：20A2260184

マイクロLEDの物質移動の新しい方法【JST・京大機械翻訳】

New method for mass transfer of MicroLED

著者 (2件)： Li Zesheng (Guangdong University of Technology,School of Electromechanical Engineering,Guangzhou,China) ,  He Yunbo (Guangdong University of Technology,School of Electromechanical Engineering,Guangzhou,China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： ICEPT  ページ： 1-3  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロLEDの工業化プロセスで克服する必要がある重要問題は,マイクロLEDの物質移動である。現在の物質移動法の大部分は,ウエハ上のMicroLEDとXおよびY方向のターゲット基板間の距離が等しくないという問題を解決することができない。音声コイルモータ,SCARAロボットを含む一組の物質移動装置を設計した。シリコンPDMS膜を延伸または収縮することにより,XおよびY方向のターゲット基板から異なる距離でウエハ上のMicroLEDの物質移動を実現できる新しい方法を提案した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *物質移動 ,  ロボット ,  電動機 ,  ケイ素 ,  工業化

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： LED ,  物質移動