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J-GLOBAL ID：202002246359404447   整理番号：20A1759915

クラスタツールワークステーションの外部スケジューリングのための数学モデル【JST・京大機械翻訳】

A mathematical model for the external scheduling of a cluster tool workstation

著者 (5件)： Nieke Gottfried (Technische Universitaet Dresden, Dresden, Germany) ,  Maleck Christian (Technische Universitaet Dresden, Dresden, Germany) ,  Bock Karlheinz (Technische Universitaet Dresden, Dresden, Germany) ,  Stehli Marcel (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, Germany) ,  Kalisch Steffen (GLOBALFOUNDRIES Inc., Dresden, Germany)
資料名： ACM Proceedings  (ACM Proceedings)
号： WSC ’18  ページ： 3538-3549  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0698C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クラスタツールは,半導体産業で特に使用される閉じたミニ生産環境である。それらは多重処理チャンバから成る。単一処理ツールとは対照的に,それらは同時に異なるプロセス特性を有する多重ロットを扱うことができる。スケジューリングクラスタツールの主要な課題は,ツール上の製品ミックスの変化に強く依存するので,同等のロットのプロセス時間を予測するのが難しいことである。本論文では,クラスタツールワークステーションの外部スケジューリングのための数学モデルを提示した。目標は,各ロットの変化サイクル時間を考慮することによって,加重サイクル時間を最小化することである。MIPモデルはワークステーションの多くのツールを割り当てて,クラスタツール内部の処理ステップの間に用いられる各ロットに対して決定する。最後に,開発した方法を,ディスパッチング戦略を使用するシミュレーションと比較した。Please refer to this article’s citation page on the publisher website for specific rights information. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *スケジューリング ,  ディスパッチング ,  *数学モデル ,  多重化 ,  半導体工業 ,  *ワークステーション
準シソーラス用語： *クラスタツール ,  サイクルタイム ,  生産環境 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  工程管理  (KB03030P)

タイトルに関連する用語 (2件)： スケジューリング ,  数学モデル