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J-GLOBAL ID：202002246996326040   整理番号：20A0134178

オリフィスの異なる数と分布半径を持つ空気浮上装置の力特性と二次元圧力場【JST・京大機械翻訳】

Force characteristics and two-dimensional pressure fields of air flotation units with different numbers and distribution radii of orifices

著者 (5件)： Yu Xubo (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Zhejiang, P. R. China) ,  Zou Chengye (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Zhejiang, P. R. China) ,  Zou Chengye (Department of Industrial and Manufacturing Systems Engineering, The University of Hong Kong, Hong Kong) ,  Shi Kaige (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Zhejiang, P. R. China) ,  Li Xin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Zhejiang, P. R. China)
資料名： Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science  (Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part C. Journal of Mechanical Engineering Science)
巻： 234  号： 1  ページ： 108-120  発行年： 2020年 
JST資料番号： H0720A  ISSN： 0954-4062  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気浮上レールは,液晶ガラス基板やウエハなどの部品を扱うための半導体製造ラインで広く使われている。本研究では,利用された空気懸濁軌道の基本成分(空気浮上装置と呼ばれる)のオリフィスの数と分布半径の影響を理論的および実験的に研究した。空気浮上装置の圧力分布を最初にReynolds方程式を用いて計算した。次に,オリフィスの異なる数と分布半径を有する6つの異なる空気浮上装置の浮上力と二次元圧力場を実験的に測定した。実験データに基づいて,流れの慣性項,分布円内の非流れ領域の影響,オリフィスの数と分布半径などによりもたらされる変化の影響を解析した。本研究の知見は,空気浮上レールの設計のための重要な理論的および実験的参照を提供する。Copyright IMechE 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *二次元 ,  浮上法 ,  圧力分布 ,  *オリフィス ,  懸濁液
準シソーラス用語： Reynolds方程式 ,  *圧力場 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 空気浮上法 ,  二次元圧力場 ,  オリフィスの数 ,  オリフィスの分布半径

分類 (3件)： 内燃機関一般  (PB02010R) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  電磁機器  (NB10030C)

タイトルに関連する用語 (7件)： オリフィス ,  数 ,  分布 ,  半径 ,  浮上装置 ,  力 ,  圧力場