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J-GLOBAL ID：202002247070053649   整理番号：20A0104158

AFMを活用したAu(100)上でのPEG吸脱着膜の解析

著者 (4件)： 安田洋平 (北大 大学院) ,  吉岡大騎 (北大 大学院) ,  松島永佳 (北大 大学院) ,  上田幹人 (北大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 140th  ページ： 67  発行年： 2019年08月29日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.緒言近年、集積回路の小型化が進んでいる。そこでは、ダマシンプロセスと呼ばれる銅めっき法が活用され、ナノスケールで制御された銅配線が作られている。そのめっき浴には、抑制剤、促進剤、レベラーに分類される複数の添加剤を用いることで、トレンチや...【本文一部表示】

シソーラス用語： *電気めっき ,  添加剤 ,  金電極 ,  ポリエチレンオキシド ,  吸着 ,  脱着 ,  反応機構 ,  *その場観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  電解 ,  表面性状 ,  *吸脱着 ,  定電位電解
準シソーラス用語： PEG【重合体】 ,  AFM【顕微鏡】

著者キーワード (3件)： ポリエチレングリコール ,  in-situ ,  高速AFM

分類 (1件)： 電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (6件)： AFM ,  活用 ,  Au ,  PEG ,  吸脱着 ,  解析