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J-GLOBAL ID：202002247558661854   整理番号：20A2507087

超精密大型光学製作のためのモータ化プラズマ配送システムの設計【JST・京大機械翻訳】

Design of a motorised plasma delivery system for ultra-precision large optical fabrication

著者 (6件)： Zhou Hui (Surface Engineering and Precision Institute, Cranfield University, Bedford, United Kingdom) ,  Bennett Adam (Surface Engineering and Precision Institute, Cranfield University, Bedford, United Kingdom) ,  Castelli Marco (Manufacturing Technology Centre (MTC), Coventry, United Kingdom) ,  Jourdain Renaud (Surface Engineering and Precision Institute, Cranfield University, Bedford, United Kingdom) ,  Guo Jiang (Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining Technology of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, People’s Republic of China) ,  Yu Nan (Centre of Micro/Nano Manufacturing Technology, University College Dublin, Dublin, Ireland)
資料名： International Journal of Extreme Manufacturing  (International Journal of Extreme Manufacturing)
巻： 2  号： 4  ページ： 045301 (6pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5579A  ISSN： 2631-7990  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極めて大きな望遠鏡を製造するため,Cranfield大学で,ユニークなプラズマフィジイジング(PF)プロセスを作成し,実証した。大気圧処理は,他の仕上プロセスよりも速く,より費用対効果が高い。したがって,大きな光学表面の重要な代替を提供する。数千の超精密メートルスケール光学の工業規模製造は,ロバストなPF機械を必要とする:この要求は,プラズマ配送システム(PDS)性能の再現性を繰り返すことにより達成される。本研究では,大きな光学製造のための専用のPDSを,工業的要求を満たすために提案した。PDSは,L型高周波(RF)ネットワーク,電源,および誘導結合プラズマトーチに基づく。しかし,これらの技術の複雑性は,PDSからの統合部品の深さ理解を必要とする。改良PDSのためのスマート制御システムを作成した。この新規制御システムは,RFネットワークにおける臨界電気部品の調整を自動化することにより,インライン計測法の利用によって達成される,特性化プロセス決定を決定づけることを目的とする。本論文では,主な設計側面について述べた。PDSは,静電容量とRF周波数の間の良い相関でテストした。ロバストPDS設計は,全15時間の試験の間,RF信号の低偏差でプラズマの安定した放電を可能にした。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  望遠鏡 ,  自動化 ,  ネットワーク ,  *電動機 ,  HF【周波数】 ,  再現性 ,  プラズマトーチ ,  臨界 ,  静電容量 ,  電気部品 ,  電磁結合 ,  ロバスト性
準シソーラス用語： 費用対効果 ,  RF信号 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超精密 ,  大型 ,  光学 ,  製作 ,  プラズマ ,  配送システム ,  設計