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J-GLOBAL ID：202002247790490279   整理番号：20A1379563

シリコンベース圧電MEMS球形ベクトルハイドロフォン設計【JST・京大機械翻訳】

Design of silicon-based piezoelectric MEMS spherical vector hydrophone

著者 (4件)： Li Fen (中北大学儀器科学与動態測試教育部重点実験室,山西太原,030051) ,  Shi Shuzheng (中北大学儀器科学与動態測試教育部重点実験室,山西太原030051;河北建筑工程学院机械工程学院,河北張家口075000) ,  Yang Xiangyu (中北大学儀器科学与動態測試教育部重点実験室,山西太原,030051) ,  He Jian (中北大学儀器科学与動態測試教育部重点実験室,山西太原,030051)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 39  号： 3  ページ： 84-86  発行年： 2020年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ハイドロフォン体積のマイクロ化を実現し、その固有周波数を高め、感度を保証するため、新型受動デバイス、即ち圧電効果に基づくマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)一次元球形ベクトルハイドロフォンを提案した。COMSOLソフトウェアを用いて,シミュレーション設計を行い,装置のキー寸法を決定した。MEMSプロセスによって製作されたデバイスをテストし,結果は,このハイドロフォンの感度が-205dB(0dB=1V/μPa)に達し,固有振動数が1.6kHzに達し,良好な一次元指向性を持つことを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 固有振動数 ,  シミュレーション ,  マイクロ化 ,  *圧電気 ,  *ハイドロホン ,  ソフトウェア ,  一次元 ,  指向性 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 圧電効果 ,  受動素子 ,  COMSOL , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 水中音響応用  (BB03090U) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン ,  圧電 ,  MEMS ,  球形 ,  ベクトル ,  ハイドロフォン ,  設計