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J-GLOBAL ID:202002248595557165   整理番号:20A2528893

点滴注入システムのための微細加工フローセンサの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of micromachined flow sensor for drip infusion system
著者 (6件):
資料名:
巻: 26  号: 12  ページ: 3677-3683  発行年: 2020年 
JST資料番号: W2056A  ISSN: 0946-7076  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,点滴注入システムへの応用のためのMEMSフローセンサを開発した。MEMSセンサはシリコンゴム層から成り,薄膜センサは薄いポリイミド膜上に形成した金属ヒータとサーミスタからなる流速測定要素と,基板としてプラスチック板を利用するフローチャンネルを有するPDMS層から成る。ドリップ注入システムでは,高精密ドラッグデリバリーを達成するために,低駆動温度条件下で低流量範囲で高感度のフローセンサが必要である。したがって,センサ感度を改善し,注入薬の劣化を防止するために,センサの駆動条件を40°Cまたはそれ以下に設定するために,流量測定原理として熱量測定法を利用した。これらの条件下での実験は,本フローセンサが5.0g/min以下の低流量範囲で高感度を有することを示した。また,40°C以下の駆動温度におけるドリップ注入溶液と同じ性質を持つ種々の液体を用いて流量検出関数を評価し,流れセンサがセット流速範囲内で各溶液を十分測定できることが分かった。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  温度測定,温度計 
タイトルに関連する用語 (4件):
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