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J-GLOBAL ID：202002249014153760   整理番号：20A2702818

線形実験先進デバイス(LEAD)上のマルチリングアンテナを有する大面積平面ヘリコンプラズマ源【JST・京大機械翻訳】

A large-area planar helicon plasma source with a multi-ring antenna on Linear Experimental Advanced Device (LEAD)

著者 (16件)： Liu H. (University of Science and Technology of China, Hefei 230026, People’s Republic of China) ,  Liu H. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Shinohara S. (Tokyo University of Agriculture and Technology, 2-24-16, Naka-cho, Koganei, Tokyo 184-8588, Japan) ,  Yu Y. (University of Science and Technology of China, Hefei 230026, People’s Republic of China) ,  Yu Y. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Xu M. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Zheng P.F. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Wang Z.H. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Gong S.B. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Wang H.J. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Zhu Y.X. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Nie L. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Ke R. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Chen Y.H. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Duan X.R. (Southwestern Institute of Physics, Chengdu 610041, People’s Republic of China) ,  Ye M.Y. (University of Science and Technology of China, Hefei 230026, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Instrumentation  (Journal of Instrumentation)
巻： 15  号： 11  ページ： P11002  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5562A  ISSN： 1748-0221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 四環アンテナを有する平面ヘリコンプラズマ源を,物理研究所における線形実験先進装置(LEAD)上で開発した。最大アンテナリングの直径は320mmであった。この源は,真空界面のない真空チャンバの外側に位置し,340mm直径の石英窓を通して,チャンバに高周波電力を注入する。波モード伝送に対する電磁モードに対する150Wの低電力閾値を実験的に確認した。1019m-3以上の密度を有する大きな体積プラズマと30×1013W-1以上のプラズマ発生効率(入力パワーで除かれた電子の全数)は,この大面積ヘリコンプラズマ源の高性能を示し,有望なLEADは,基本的なプラズマ物理とプラズマ材料相互作用研究に適したデバイスである。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アンテナ ,  界面 ,  *プラズマ ,  相互作用 ,  プラズマ生成 ,  石英 ,  真空容器 ,  *ヘリコン ,  線形性
準シソーラス用語： チャンバ ,  大面積 ,  低電力化 ,  プラズマ物理 ,  高周波電力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 線形 ,  実験 ,  大面積 ,  ヘリコンプラズマ