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J-GLOBAL ID：202002249705746231   整理番号：20A2642524

Si含有DLC膜の局所構造解析【JST・京大機械翻訳】

Local structure analysis of Si-containing DLC films

著者 (3件)： KANDA Kazuhiro (Univ. Hyogo) ,  HASEGAWA Takayuki (Univ. Hyogo) ,  HASEGAWA Takayuki (Synchrotron Analysis LLC)
資料名： LASTI Annual Report (Web)  (LASTI Annual Report (Web))
巻： 21  ページ： 29-30 (WEB ONLY)  発行年： 2020年10月 
JST資料番号： U2085A  ISSN： 2435-7499  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  DLC膜 ,  局所構造 ,  解析