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J-GLOBAL ID：202002249755318403   整理番号：20A0765974

アルゴンガスクラスタイオンビームを用いたOLED材料のTOF-SIMS OLED検査への有望なアプローチ【JST・京大機械翻訳】

ToF-SIMS of OLED materials using argon gas cluster ion Beam: A promising approach for OLED inspection

著者 (9件)： Baek Ji Young (Center for Scientific Instrumentation, Korea Basic Science Institute, Cheongju, Republic of Korea) ,  Choi Chang Min (Center for Scientific Instrumentation, Korea Basic Science Institute, Cheongju, Republic of Korea) ,  Lee Sang Ju (Center for Scientific Instrumentation, Korea Basic Science Institute, Cheongju, Republic of Korea) ,  Min Boo Ki (Center for Scientific Instrumentation, Korea Basic Science Institute, Cheongju, Republic of Korea) ,  Kang Hwa Seung (Department of Information Display Engineering, Hanyang University, Seoul, Republic of Korea) ,  Choo Dong Chul (Department of Electronics and Computer Engineering, Hanyang University, Seoul, Republic of Korea) ,  Sung Ji Yeong (Busan Center, Korea Basic Science Institute, Busan, Republic of Korea) ,  Jin Jong Sung (Busan Center, Korea Basic Science Institute, Busan, Republic of Korea) ,  Choi Myoung Choul (Center for Scientific Instrumentation, Korea Basic Science Institute, Cheongju, Republic of Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 507  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機発光ダイオード(OLED)の採用の増加とともに,それらの検査のための分析法とツールは,分野の重要な部分になっている。本研究では,20keV Arクラスタイオンビーム発射体を用いた飛行時間二次イオン質量分析(ToF-SIMS)を用いて,OLED用の四つの有機材料を分析した。フラグメンテーション比をArクラスタイオンのサイズの関数としてプロットした。原子当たりのエネルギーが低い大きなArクラスタイオンビームが二次分子イオン信号の検出に有効であることを再確認した。しかし,4,4′-シクロヘキシリデンビス[N,N-ビス(4-メチルフェニル)ベンゼンアミンのフラグメンテーション比(TAPC)は異なる傾向を示した。この違いの理由を調べ,クラスタイオンサイズを走査し,他の質量分析結果と比較した。本研究では,製造過程で生じる可能性のあるOLEDの欠陥を検証するために,クラスタイオンビームと組み合わせたToF-SIMSの可能性を実証した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 質量分析 ,  不純物 ,  *アルゴン ,  投射物体 ,  有機材料 ,  フラグメンテーション ,  生産工程 ,  *クラスタイオン
準シソーラス用語： *TOF-SIMS ,  *有機EL素子 ,  *クラスタイオンビーム ,  *ガスクラスターイオンビーム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： TOF-SIMS ,  AR GCIB ,  OLED ,  フラグメンテーション比 ,  不純物 ,  欠陥検査

分類 (5件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  スパッタリング  (BK16110U) ,  放射線高分子化学  (CG03050S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  チャネリング,ブロッキング,粒子のエネルギー損失  (BK16100J)

タイトルに関連する用語 (5件)： アルゴン ,  ガスクラスタイオンビーム ,  OLED ,  TOF-SIMS ,  検査